[实用新型]温控间距调整装置及镀膜设备有效
| 申请号： | 201721473281.8 | 申请日： | 2017-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN207521203U | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 白金亮;李硕;于甄;常家华 | 申请（专利权）人： | 张家港康得新光电材料有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05B15/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 梁香美 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种温控间距调整装置及镀膜设备，包括工艺鼓以及设置在工艺鼓外侧的喷头，工艺鼓与喷头之间安装有用于对喷头两端加热补偿的加热件。在镀膜过程中，工艺鼓的中间区域向喷头辐射的热量较多，工艺鼓的两端区域向喷头辐射的热量较少，喷头会发生变形,喷头的不同区域与工艺鼓的鼓面之间的间距具有不一致性，从而导致镀膜的不均匀性，通过加热件对喷头两端加热补偿，让喷头在整体上呈现平整态势，被加热补偿后的喷头的不同区域与工艺鼓的鼓面之间的间距大小一致，提高镀膜的均匀性。本申请仅由加热温度一个参数控制间距大小，简单可靠。根据不同技术要求调整工艺鼓的鼓面与喷头之间的间距，可以提高化学源利用率和镀膜均匀性，提高产品性能。 | ||
| 搜索关键词： | 喷头 加热补偿 鼓面 间距调整装置 镀膜设备 加热件 镀膜 温控 本实用新型 镀膜均匀性 不均匀性 不一致性 参数控制 产品性能 大小一致 镀膜过程 技术要求 两端区域 中间区域 化学源 均匀性 辐射 加热 变形 平整 申请 | ||
【主权项】：
1.一种温控间距调整装置，其特征在于，包括工艺鼓以及设置在所述工艺鼓外侧的喷头，所述工艺鼓与所述喷头之间安装有用于对所述喷头两端加热补偿的加热件。
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