[实用新型]温控间距调整装置及镀膜设备有效

专利信息
申请号: 201721473281.8 申请日: 2017-11-07
公开(公告)号: CN207521203U 公开(公告)日: 2018-06-22
发明(设计)人: 白金亮;李硕;于甄;常家华 申请(专利权)人: 张家港康得新光电材料有限公司
主分类号: B05B13/02 分类号: B05B13/02;B05B15/00
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 梁香美
地址: 215000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 喷头 加热补偿 鼓面 间距调整装置 镀膜设备 加热件 镀膜 温控 本实用新型 镀膜均匀性 不均匀性 不一致性 参数控制 产品性能 大小一致 镀膜过程 技术要求 两端区域 中间区域 化学源 均匀性 辐射 加热 变形 平整 申请
【权利要求书】:

1.一种温控间距调整装置,其特征在于,包括工艺鼓以及设置在所述工艺鼓外侧的喷头,所述工艺鼓与所述喷头之间安装有用于对所述喷头两端加热补偿的加热件。

2.根据权利要求1所述的温控间距调整装置,其特征在于,所述工艺鼓上对应所述喷头两端的位置安装有加热件,所述喷头两端分别安装在所述加热件上。

3.根据权利要求1或2所述的温控间距调整装置,其特征在于,所述加热件滑动安装在所述工艺鼓上,以调节所述喷头与所述工艺鼓的鼓面之间的距离。

4.根据权利要求1所述的温控间距调整装置,其特征在于,所述喷头为多个,多个所述喷头围绕所述工艺鼓的3/4鼓面设置。

5.根据权利要求1所述的温控间距调整装置,其特征在于,所述加热件为电加热件。

6.根据权利要求1所述的温控间距调整装置,其特征在于,所述喷头的长度方向与所述工艺鼓的轴线方向一致。

7.根据权利要求1或6所述的温控间距调整装置,其特征在于,所述喷头两端的距离与所述工艺鼓两端面的距离相同。

8.根据权利要求1所述的温控间距调整装置,其特征在于,所述工艺鼓为柱状工艺鼓。

9.根据权利要求5所述的温控间距调整装置,其特征在于,所述电加热件为铝合金电加热件。

10.一种镀膜设备,其特征在于,包括权利要求1-9中任一项所述的温控间距调整装置。

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