[实用新型]温控间距调整装置及镀膜设备

说明书

本实用新型公开了一种温控间距调整装置及镀膜设备，包括工艺鼓以及设置在工艺鼓外侧的喷头，工艺鼓与喷头之间安装有用于对喷头两端加热补偿的加热件。在镀膜过程中，工艺鼓的中间区域向喷头辐射的热量较多，工艺鼓的两端区域向喷头辐射的热量较少，喷头会发生变形,喷头的不同区域与工艺鼓的鼓面之间的间距具有不一致性，从而导致镀膜的不均匀性，通过加热件对喷头两端加热补偿，让喷头在整体上呈现平整态势，被加热补偿后的喷头的不同区域与工艺鼓的鼓面之间的间距大小一致，提高镀膜的均匀性。本申请仅由加热温度一个参数控制间距大小，简单可靠。根据不同技术要求调整工艺鼓的鼓面与喷头之间的间距，可以提高化学源利用率和镀膜均匀性，提高产品性能。

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，特别涉及一种温控间距调整装置及镀膜设备。

背景技术

镀膜设备的喷头与衬底薄膜之间的距离，一般通过固定螺丝扣或电机调整。

固定螺丝扣调节间距，设备简单、成本低，但是生产成本非常高。拆卸螺丝和校准间距，重新组装喷头和工艺鼓全程预计耗时一周。

电机控制间距虽然简易快捷，但是设备成本高，维护复杂。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种温控间距调整装置及镀膜设备，以解决现有技术中存在的上述技术问题。

本实用新型提供的温控间距调整装置，包括工艺鼓以及设置在所述工艺鼓外侧的喷头，所述工艺鼓与所述喷头之间安装有用于对所述喷头两端加热补偿的加热件。

进一步地，所述工艺鼓上对应所述喷头两端的位置安装有加热件，所述喷头两端分别安装在所述加热件上。

进一步地，所述加热件滑动安装在所述工艺鼓上，以调节所述喷头与所述工艺鼓的鼓面之间的距离。

进一步地，所述喷头为多个，多个所述喷头围绕所述工艺鼓的3/4鼓面设置。

进一步地，所述加热件为电加热件。

进一步地，所述喷头的长度方向与所述工艺鼓的轴线方向一致。

进一步地，所述喷头两端的距离与所述工艺鼓两端面的距离相同。

进一步地，所述工艺鼓为柱状工艺鼓。

进一步地，所述电加热件为铝合金电加热件。

本实用新型提供的温控间距调整装置，具有如下优点：

在镀膜过程中，工艺鼓的中间区域向喷头辐射的热量较多，工艺鼓的两端区域向喷头辐射的热量较少，喷头会发生变形，即喷头中间膨出工艺鼓的鼓面较多，喷头两端膨出较少,喷头的不同区域与工艺鼓的鼓面之间的间距具有不一致性，从而导致镀膜的不均匀性，通过加热件对喷头两端加热补偿，让喷头在整体上呈现平整态势，被加热补偿后的喷头的不同区域与工艺鼓的鼓面之间的间距大小一致，提高镀膜的均匀性。

本申请仅由加热温度一个参数控制间距大小，简单可靠。

根据不同技术要求调整工艺鼓的鼓面与喷头之间的间距，可以提高化学源利用率和镀膜均匀性，提高产品性能。

另外，本实用新型还提供了一种镀膜设备，包括上述温控间距调整装置。

采用上述温控间距调整装置的镀膜设备，结构简单、生产成本低、维护方便。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。