[实用新型]一种可降低基板破损率的镀膜装夹工具有效
| 申请号： | 201721464263.3 | 申请日： | 2017-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN207331053U | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 朱子寰 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 210033 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种可降低基板破损率的镀膜装夹工具，其结构包括框架、基板、软质夹层、弹性夹，所述框架上设基板，框架内边缘尺寸较基板尺寸内缩的是夹持区域，该夹持区域上有一层软质夹层，框架上安装弹性夹。本实用新型的优点：基板与装夹工具二者接触面之间增加可避免磨损并满足制程环境要求的夹层；增加该夹层后装夹工具的清洗（维护保养）方式，可以避免基板在真空镀膜工程中在装夹工具上的磨损，可以达到如下效果：降低真空镀膜工序的基板破损率；提高产品的弯曲强度；使真空镀膜设备可能实现更高的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 降低 破损 镀膜 工具 | ||
【主权项】：
1.一种可降低基板破损率的镀膜装夹工具，其特征是包括框架、基板、软质夹层、弹性夹，所述框架上设基板，框架内边缘尺寸较基板尺寸内缩的是夹持区域，该夹持区域上有一层软质夹层，框架上安装弹性夹。
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