[实用新型]一种可降低基板破损率的镀膜装夹工具

说明书

本实用新型是一种可降低基板破损率的镀膜装夹工具，其结构包括框架、基板、软质夹层、弹性夹，所述框架上设基板，框架内边缘尺寸较基板尺寸内缩的是夹持区域，该夹持区域上有一层软质夹层，框架上安装弹性夹。本实用新型的优点：基板与装夹工具二者接触面之间增加可避免磨损并满足制程环境要求的夹层；增加该夹层后装夹工具的清洗（维护保养）方式，可以避免基板在真空镀膜工程中在装夹工具上的磨损，可以达到如下效果：降低真空镀膜工序的基板破损率；提高产品的弯曲强度；使真空镀膜设备可能实现更高的生产效率。

技术领域

本实用新型涉及的是一种可降低基板破损率的镀膜装夹工具，属于装夹工具技术领域。

背景技术

平板玻璃在真空镀膜时由于要整面成膜，装夹工具只可以在基板周边较窄区域实施夹持，故装夹工具为框型结构。由于装夹工具需满足牢固不变形、耐高温耐冲击、需较频繁地清洗其表面的镀膜残留并进行喷砂处理等原因，故一般使用高硬度、高强度金属如不锈钢、钛合金等材料制作。而镀膜工序因其工艺特点，在传送、真空与大气环境切换等环节基板受到的冲击较大，基板的震动较强烈，基板周边与装夹工具接触的区域受到较大的挤压力度。现有装夹工具的主要功能实现部分由框架和弹性夹组成（其余部分还包括圆柱导轨、磁性导轨、绝缘块、连接件、二维码标牌等附件，根据具体设备细节设计，各不相同），对于现有的装夹工具，以上两方面因素造成基板周边夹持区域上被装夹工具磨损，产生破裂的起始点，进而在工序或后工序受力时破裂。金属框架直接与基板接触，易造成基板磨损。

实用新型内容

本实用新型提出了一种可降低基板破损率的镀膜装夹工具，其目的旨在克服现有装夹工具存在的上述不足，可以有效避免基板的磨损，从而可以减少基板破裂、提高产品弯曲强度、实现更高的良品率和更快的生产速度。

本实用新型的技术解决方案：一种可降低基板破损率的镀膜装夹工具，其结构包括框架、基板、软质夹层、弹性夹，所述框架上设基板，框架内边缘尺寸较基板尺寸内缩的是夹持区域，该夹持区域上有一层软质夹层，框架上安装弹性夹。

本实用新型的优点：

基板与装夹工具二者接触面之间增加可避免磨损并满足制程环境要求的夹层；增加该夹层后装夹工具的清洗（维护保养）方式，可以避免基板在真空镀膜工程中在装夹工具上的磨损，可以达到如下效果：降低真空镀膜工序的基板破损率；提高产品的弯曲强度；使真空镀膜设备可能实现更高的生产效率。

附图说明

附图1是镀膜装夹工具的结构示意图。

附图2是图1的侧视图。

附图3是图2中的A-A放大图。

图中，1是框架，2是基板，3是软质夹层，4是弹性夹。

具体实施方式

如附图所示，一种可降低基板破损率的镀膜装夹工具，其结构包括框架、基板、软质夹层、弹性夹，所述框架上设基板，框架内边缘尺寸较基板尺寸内缩的是夹持区域，该夹持区域上有一层软质夹层，框架上安装弹性夹。

在装夹工具金属框架的基板夹持区域上增加一层软质夹层作为夹具与基板的接触面，其强度与硬度远远小于框架的金属材料，如此可使基板即使在强烈震动反复挤压摩擦的状况下也不致表面受到磨损，从而可减少破片，同时由于可接受更强烈的基板震动而可能实现更快的生产速度。该夹层材料有多种选择方案，其共同特征为：耐磨，可以耐受一个夹具清洗周期内的基板反复下上而保持结构和表面性能不发生明显变化；附着性好，在使用周期内不会脱落而造成失效甚至污染产品；耐高温耐冲击，可以经受镀膜工序腔内腔外的高低温反复变化。该夹层的实现方式可以是一次性附着在金属表面，在夹具清洗、喷砂过程中表面采取保护措施防止腐蚀污损；或是反复贴附，每次夹具清洗喷砂前去除，生产前贴附。