[实用新型]一种可降低基板破损率的镀膜装夹工具有效
申请号: | 201721464263.3 | 申请日: | 2017-11-06 |
公开(公告)号: | CN207331053U | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | 朱子寰 | 申请(专利权)人: | 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人: | 沈根水 |
地址: | 210033 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 降低 破损 镀膜 工具 | ||
【权利要求书】:
1.一种可降低基板破损率的镀膜装夹工具,其特征是包括框架、基板、软质夹层、弹性夹,所述框架上设基板,框架内边缘尺寸较基板尺寸内缩的是夹持区域,该夹持区域上有一层软质夹层,框架上安装弹性夹。
2.根据权利要求1所述的一种可降低基板破损率的镀膜装夹工具,其特征是所述的软质夹层是夹具与基板的接触面。
3.根据权利要求1所述的一种可降低基板破损率的镀膜装夹工具,其特征是所述的夹持区域为5mm。
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