[实用新型]一种晶圆机台温控系统

摘要

本实用新型公开了一种晶圆机台温控系统，为晶圆机台冷却，包括：循环泵，通过机台进水管与机台出水管与晶圆机台连通，以维持晶圆机台温度，循环泵的控制模块与机台通讯连接，冷却装置，通过冷却水进水管与冷却水出水管与循环泵连通，以冷却循环泵，第一气动阀与第二气动阀，分别排布在冷却水进水管以及冷却水出水管上，进气管，其中通有空气，且进气管通过电磁阀与第一气动阀与第二气动阀连通，电磁阀同循环泵的控制模块通讯连接；其中，当循环泵的断电信号或故障信号传输至机台与电磁阀时，机台停止运转，同时电磁阀控制进气管开启，空气进入第一气动阀与第二气动阀使其关闭。可以保持制造过程中晶圆机台的温度。

主权项

1.一种晶圆机台温控系统，为晶圆机台冷却，其特征在于，包括：循环泵，通过机台进水管与机台出水管与所述晶圆机台连通，以维持所述晶圆机台内的温度，所述循环泵的控制模块与所述机台的控制模块通讯连接，冷却装置，通过冷却水进水管与冷却水出水管与所述循环泵连通，为所述循环泵降温，第一气动阀与第二气动阀，分别排布在所述冷却水进水管以及所述冷却水出水管上，进气管，其中通有空气，且所述进气管通过电磁阀与所述第一气动阀与所述第二气动阀连通，所述电磁阀同所述循环泵的控制模块通讯连接；其中，当所述循环泵的断电信号或故障信号传输至所述机台的控制模块与所述电磁阀时，所述机台停止运转，并且所述电磁阀开启使所述进气管导通，空气进入所述第一气动阀与所述第二气动阀使其关闭。