[实用新型]ITO靶材烧结炉

摘要

本实用新型公开了一种ITO靶材烧结炉，包括炉架，炉架的上支架上架设有炉体，炉体内设置有保温层；炉架的下支架上设置有定位导轨，定位导轨之间的炉架内设置有用于放置待烧结ITO靶材坯体的升降架；所述炉体上还设置有气氛控制系统、加热控制系统以及主控制器；所述炉体和保温层之间还设置有水冷夹套，炉体上设置有控制水冷夹套进行冷却作业的水冷控制系统，所述水冷控制系统的受控端连接主控制器的输出端。本实用新型能够使炉膛内的温度快速地上升或下降，进而实现快速并精确地调节升降温速率的目的，使ITO靶材在烧结过程中的晶粒、孔隙、致密度均达到最佳状态，大大提高了ITO靶材的烧结质量。

主权项

1.ITO靶材烧结炉，包括由下支架（11）和上支架（12）构成的炉架，炉架的上支架上架设有炉体（1），炉体（1）内设置有保温层（3）；炉架的下支架上设置有定位导轨（10），定位导轨之间的炉架内设置有在定位导轨上上下移动、用于放置待烧结ITO靶材坯体的升降架（9）；所述炉体上还设置有向炉膛内通入氧气的气氛控制系统、用于控制炉膛内加热温度的加热控制系统以及用于控制气氛控制系统和加热控制系统协调作业的主控制器；其特征在于：所述炉体（1）和保温层（3）之间还设置有水冷夹套（2），炉体上设置有控制水冷夹套进行冷却作业的水冷控制系统，所述水冷控制系统的受控端连接主控制器的输出端。