[实用新型]ITO靶材烧结炉

权利要求书

1.ITO靶材烧结炉，包括由下支架（11）和上支架（12）构成的炉架，炉架的上支架上架设有炉体（1），炉体（1）内设置有保温层（3）；炉架的下支架上设置有定位导轨（10），定位导轨之间的炉架内设置有在定位导轨上上下移动、用于放置待烧结ITO靶材坯体的升降架（9）；所述炉体上还设置有向炉膛内通入氧气的气氛控制系统、用于控制炉膛内加热温度的加热控制系统以及用于控制气氛控制系统和加热控制系统协调作业的主控制器；其特征在于：所述炉体（1）和保温层（3）之间还设置有水冷夹套（2），炉体上设置有控制水冷夹套进行冷却作业的水冷控制系统，所述水冷控制系统的受控端连接主控制器的输出端。

2.根据权利要求1所述的ITO靶材烧结炉，其特征在于：所述水冷控制系统包括冷却水源、连通冷却水源与水冷夹套底部的进水管、设置在水冷夹套上部的出水管以及设置在进水管上的水冷控制器，所述水冷控制器的受控端连接主控制器的输出端。

3.根据权利要求1所述的ITO靶材烧结炉，其特征在于：所述加热控制系统包括电源、炉膛温度控制器、移相调功器、隔离降压变压器、加热硅钼棒（7）以及设置在炉体顶部的热电偶（8），所述电源的输出端依次连接移相调功器、隔离降压变压器和加热硅钼棒，移相调功器的受控端连接炉膛温度控制器的输出端；所述主控制器的输入端连接热电偶的输出端，主控制器的输出端连接炉膛温度控制器的受控端。

4.根据权利要求3所述的ITO靶材烧结炉，其特征在于：所述加热硅钼棒设置有多根，多根加热硅钼棒在炉膛内环形设置在待烧结ITO靶材的周侧。

5.根据权利要求1所述的ITO靶材烧结炉，其特征在于：所述气氛控制系统包括氧气源、氧气流量控制器、氧气加热器、氧气温度控制器、设置在炉体上的数字压力表（4）以及通往炉膛的氧气注入管（13）和向炉体外排气的排气管（14）；所述氧气源的输出端通过管道依次连接氧气流量控制器和氧气加热器，氧气加热器的受控端连接氧气温度控制器的输出端；所述数字压力表的输出端连接主控制器的输入端，主控制器的输出端分别与氧气温度控制器和氧气流量控制器的受控端连接。

6.根据权利要求5所述的ITO靶材烧结炉，其特征在于：所述氧气加热器的输出管道中设置有氧气分配器，氧气分配器设置有多个输出端口，每根输出端口分别连接一根氧气注入管，所有氧气注入管的输出端匀布在炉膛内待烧结ITO靶材的周侧。

7.根据权利要求1至6任一项所述的ITO靶材烧结炉，其特征在于：所述炉体为采用304食品药品级不锈钢板材制作的双层结构。