[实用新型]坩埚蒸镀装置有效
| 申请号： | 201721345763.5 | 申请日： | 2017-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN207259583U | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 姜迪 | 申请（专利权）人： | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司11204 | 代理人： | 王达佐,王艳春 |
| 地址： | 315400 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种坩埚蒸镀装置，包括坩埚膜料，装置还可包括可旋转的转台和多个电子枪模块，其中，可旋转的转台邻近于坩埚膜料；以及多个电子枪模块可安装在转台上；转台旋转时可使得安装在转台上的多个电子枪模块中的一个交替地与坩埚膜料邻近，其中，邻近于坩埚膜料的电子枪模块可通过发射电子束对坩埚膜料进行加热。本申请的坩埚蒸镀装置，在蒸镀过程中电子枪体的灯丝出现异常时，能够实现电子枪体的自动切换从而杜绝因灯丝异常导致产品异常的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 装置 | ||
【主权项】：
一种坩埚蒸镀装置，包括坩埚膜料，其特征在于，所述装置还包括：可旋转的转台，邻近于所述坩埚膜料；以及多个电子枪模块，安装在所述转台上；其中，所述转台旋转时使得安装在所述转台上的所述多个电子枪模块中的一个交替地与所述坩埚膜料邻近，以及其中，邻近于所述坩埚膜料的电子枪模块通过发射电子束对所述坩埚膜料进行加热。
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