[实用新型]坩埚蒸镀装置有效
| 申请号： | 201721345763.5 | 申请日： | 2017-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN207259583U | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 姜迪 | 申请（专利权）人： | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司11204 | 代理人： | 王达佐,王艳春 |
| 地址： | 315400 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种坩埚蒸镀装置，包括坩埚膜料，其特征在于，所述装置还包括：
可旋转的转台，邻近于所述坩埚膜料；以及
多个电子枪模块，安装在所述转台上；
其中，所述转台旋转时使得安装在所述转台上的所述多个电子枪模块中的一个交替地与所述坩埚膜料邻近，以及
其中，邻近于所述坩埚膜料的电子枪模块通过发射电子束对所述坩埚膜料进行加热。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，每个所述电子枪模块还包括：
电子枪体和电子枪底座，所述转台设置在所述电子枪底座与所述电子枪体之间，所述电子枪体与所述电子枪底座电连接。
3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述装置还包括旋转机构以驱动所述转台以预定角度进行旋转。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述坩埚膜料位于所述电子枪模块的侧面。
5.一种蒸镀系统，其特征在于，包括如权利要求1-4中任一项所述的坩埚蒸镀装置。
6.根据权利要求5所述的蒸镀系统，其特征在于，还包括与抽真空装置连通的蒸镀腔室。
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