[实用新型]坩埚蒸镀装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及蒸镀技术领域，更具体地涉及一种坩埚蒸镀装置。

背景技术

当前，蒸镀工艺被广泛用于镀膜生产中。蒸镀工艺是将原材料放于诸如坩埚的装置中，通过加热源将原材料加热到一定温度，使得原材料发生蒸发或升华，然后沉积在待成膜工件的表面，来完成镀膜。镀膜机坩埚蒸镀是由电流经过电子枪灯丝打在坩埚内，对坩埚加热预融，使得坩埚内的膜料蒸发或升华以沉积在工件的表面上。在蒸镀过程中电流流经灯丝，灯丝会有损耗及寿命限制，镀膜过程中易出现以下情况：

灯丝因电流的磨损，灯丝的直径会逐步变细导致灯丝断丝；和

坩埚内膜料溅料溅在灯丝上会导致电流不流通以致开门。

对于单枪头供应坩埚，导致灯丝异常(灯丝断丝及变形)的不固定因素较多，会导致产品不合格(即，产品NG)和开门而影响生产效率，对于镀膜目前生产产品开门即报废的状况，造成的损失较大。

因此，需要对现有的镀膜机上坩埚蒸镀装置进行进一步的改进设计，实现蒸镀过程中电子枪灯丝断丝或变形可不用开门的直接切换，不影响工件的继续蒸镀。

实用新型内容

本申请的目的在于至少部分地解决现有镀膜机中坩埚蒸镀装置中存在的上述问题。

本申请提供了一种坩埚蒸镀装置，包括坩埚膜料，装置还可包括可旋转的转台和多个电子枪模块，其中，可旋转的转台邻近于坩埚膜料；以及多个电子枪模块可安装在转台上；转台旋转时可使得安装在转台上的多个电子枪模块中的一个交替地与坩埚膜料邻近，其中，邻近于坩埚膜料的电子枪模块可通过发射电子束对坩埚膜料进行加热。

根据本申请的一个实施方式，电子枪模块还包括：子枪体和电子枪底座，转台可设置在电子枪底座与电子枪体之间，并且电子枪体可与电子枪底座电连接。

根据本申请的一个实施方式，装置还可包括旋转机构以驱动转台以预定角度进行旋转。

根据本申请的一个实施方式，坩埚膜料可位于电子枪模块的侧面。

本申请还提供了一种蒸镀系统，包括上文所述的坩埚蒸镀装置，蒸镀系统还可包括与抽真空装置连通的蒸镀腔室。

根据本申请实施方式的坩埚蒸镀装置，在蒸镀过程中电子枪体灯丝出现异常时，能够实现电子枪体的自动切换从而杜绝因灯丝异常导致产品异常NG的目的。

附图说明

通过参照以下附图进行的详细描述，本申请的实施方式的以上及其它优点将变得显而易见，附图旨在示出本申请的示例性实施方式而非对其进行限制。在附图中：

图1示出了根据本申请实施方式的坩埚蒸镀装置的示意性结构图；以及

图2示出了根据本申请实施方式的坩埚蒸镀装置的俯视立体图。

具体实施方式

为了更好地理解本申请，将参考附图对本申请的各个方面做出更详细的说明。应理解，这些详细说明只是对本申请的示例性实施方式的描述，而非以任何方式限制本申请的范围。在说明书全文中，相同的附图标号指代相同的元件。表述“和/或”包括相关联的所列项目中的一个或多个的任何和全部组合。

还应理解的是，用语“包括”、“包括有”、“具有”、“包含”和/或“包含有”，当在本说明书中使用时表示存在所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件和/或部件，但不排除存在或添加一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或它们的组。此外，当诸如“...中的至少一个”的表述出现在所列特征的列表之后时，修饰整个所列特征，而不是修饰列表中的单独元件。此外，当描述本申请的实施方式时，使用“可以”表示“本申请的一个或多个实施方式”。并且，用语“示例性的”旨在指代示例或举例说明。

除非另外限定，否则本文中使用的所有用语(包括技术用语和科学用语)均具有与本实用新型所属领域普通技术人员的通常理解相同的含义。还应理解的是，用语(例如在常用词典中定义的用语)应被解释为具有与它们在相关技术的上下文中的含义一致的含义，并且将不被以理想化或过度正式意义解释，除非本文中明确如此限定。

以下参照附图来对本申请的各个方面进行更详细的说明。

为了解决上述问题，本申请提出了一种改进的坩埚蒸镀装置。在图1、图2中具体地示出了根据本申请实施方式的坩埚蒸镀装置。其中，图1示出了根据本申请实施方式的坩埚蒸镀装置的示意性结构图。图2示出了根据本申请实施方式的坩埚蒸镀装置的俯视立体图。

如图1、图2中所示，坩埚蒸镀装置包括电子枪模块1、转台2和坩埚膜料4。