[实用新型]基板取放机械臂及基板取放装置有效

专利信息
申请号: 201721282594.5 申请日: 2017-09-30
公开(公告)号: CN207199676U 公开(公告)日: 2018-04-06
发明(设计)人: 柳开郎 申请(专利权)人: 广东聚华印刷显示技术有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L21/677;H01L21/687;H01L21/68
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 代理人: 林青中
地址: 510000 广东省广州市广州*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种基板取放机械臂及基板取放装置,包括连接组件和支撑组件,所述支撑组件包括支撑杆和设于所述支撑杆上的第一挡板、第二挡板及支撑柱,所述支撑杆与所述连接组件连接,所述第一挡板和所述第二挡板间隔设置,所述支撑柱位于所述第一挡板和所述第二挡板之间。本实用新型的基板取放机械臂通过支撑柱承载基板,并在支撑柱的两侧分别设置第一挡板和第二挡板进行限位,避免了使用真空吸附的方式取放基板,因此可以防止从高温区取放基板时在基板上产生斑纹,从而提高了平板显示器件的良率。
搜索关键词: 基板取放 机械 装置
【主权项】:
一种基板取放机械臂,其特征在于,包括连接组件和支撑组件,所述支撑组件包括支撑杆和设于所述支撑杆上的第一挡板、第二挡板及支撑柱,所述支撑杆与所述连接组件连接,所述第一挡板和所述第二挡板间隔设置,所述支撑柱位于所述第一挡板和所述第二挡板之间。
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