[实用新型]基板取放机械臂及基板取放装置

权利要求书

1.一种基板取放机械臂，其特征在于，包括连接组件和支撑组件，所述支撑组件包括支撑杆和设于所述支撑杆上的第一挡板、第二挡板及支撑柱，所述支撑杆与所述连接组件连接，所述第一挡板和所述第二挡板间隔设置，所述支撑柱位于所述第一挡板和所述第二挡板之间。

2.根据权利要求1所述的基板取放机械臂，其特征在于，所述支撑柱包括固定部和柔性部，所述固定部与所述支撑杆连接，所述柔性部设于所述固定部的远离所述支撑杆的一端。

3.根据权利要求1所述的基板取放机械臂，其特征在于，所述支撑柱有多个，多个所述支撑柱间隔设置。

4.根据权利要求1所述的基板取放机械臂，其特征在于，所述支撑杆有多个，多个所述支撑杆平行间隔设置。

5.根据权利要求1～4任一项所述的基板取放机械臂，其特征在于，所述连接组件包括第一连接杆和第二连接杆，所述第二连接杆一端与所述第一连接杆铰接，另一端与所述支撑杆连接。

6.根据权利要求5所述的基板取放机械臂，其特征在于，所述连接组件还包括第三连接杆，所述第三连接杆与所述支撑杆固接，所述第二连接杆与所述第三连接杆铰接。

7.根据权利要求6所述的基板取放机械臂，其特征在于，所述第三连接杆的长度方向所在直线与所述支撑杆的长度方向所在直线互相垂直。

8.一种基板取放装置，其特征在于，包括移动机构和权利要求1～7任一项所述的基板取放机械臂，所述移动机构与所述连接组件连接。

9.根据权利要求8所述的基板取放装置，其特征在于，所述移动机构包括基座、旋转组件和升降组件，所述旋转组件与所述基座可旋转连接，所述升降组件与所述旋转组件连接且可相对所述旋转组件运动以靠近或远离所述基座，所述连接组件与所述升降组件连接。

10.根据权利要求9所述的基板取放装置，其特征在于，还包括辅助机械臂，所述辅助机械臂包括辅助连接组件、辅助支撑杆和真空吸附件，所述辅助连接组件与所述升降组件连接，所述辅助支撑杆与所述辅助连接组件连接，所述真空吸附件设于所述辅助支撑杆上。