[实用新型]基板取放机械臂及基板取放装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及平板显示器件加工领域，特别是涉及一种基板取放机械臂及基板取放装置。

背景技术

平板显示器件如OLED器件的制作工艺中，已经采用了喷墨打印工艺，其中空穴注入层(HIL)、空穴传输层(HTL)、发光层材料(RGB)可以采用喷墨打印工艺，即在已知的像素坑内，用喷墨打印的方式将功能材料墨水打入到像素坑内。在进行完喷墨打印工艺后需要进行减压干燥工艺，接着再进行烘烤工艺，以将墨水材料中的溶剂蒸发，留下墨水材料中固态成分。在整个制作过程中，利用相对自动化的设备进行操作时，都需要利用机器手臂来取放基板。

但是使用传统的机械臂在取放基板时，会导致在烘烤工艺结束后基板与机械臂接触的位置产生斑纹。一般在宏观检查机(一种检查基板外貌状况的设备，通常情况用来检查功能性材料在基板上是否铺展均匀)检查时发现基板上有明暗不均的现象称为斑纹，这意味着在斑纹处材料成膜的厚度不均匀，平板显示器件在制作完成后，经过器件点亮仍会发现此种斑纹，对器件良率有不好的影响。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述传统机械臂会导致基板产生斑纹的问题，提供一种不会导致基板产生斑纹的基板取放机械臂。

一种基板取放机械臂，包括连接组件和支撑组件，所述支撑组件包括支撑杆和设于所述支撑杆上的第一挡板、第二挡板及支撑柱，所述支撑杆与所述连接组件连接，所述第一挡板和所述第二挡板间隔设置，所述支撑柱位于所述第一挡板和所述第二挡板之间。

在其中一个实施例中，所述支撑柱包括固定部和柔性部，所述固定部与所述支撑杆连接，所述柔性部设于所述固定部的远离所述支撑杆的一端。

在其中一个实施例中，所述支撑柱有多个，多个所述支撑柱间隔设置。

在其中一个实施例中，所述支撑杆有多个，多个所述支撑杆平行间隔设置。

在其中一个实施例中，所述连接组件包括第一连接杆和第二连接杆，所述第二连接杆一端与所述第一连接杆铰接，另一端与所述支撑杆连接。

在其中一个实施例中，所述连接组件还包括第三连接杆，所述第三连接杆与所述支撑杆固接，所述第二连接杆与所述第三连接杆铰接。

在其中一个实施例中，所述第三连接杆的长度方向所在直线与所述支撑杆的长度方向所在直线互相垂直。

本实用新型还提供了一种基板取放装置，包括移动机构和上述基板取放机械臂，所述移动机构与所述连接组件连接。

在其中一个实施例中，所述移动机构包括基座、旋转组件和升降组件，所述旋转组件与所述基座可旋转连接，所述升降组件与所述旋转组件连接且可相对所述旋转组件运动以靠近或远离所述基座，所述连接组件与所述升降组件连接。

在其中一个实施例中，还包括辅助机械臂，所述辅助机械臂包括辅助连接组件、辅助支撑杆和真空吸附件，所述辅助连接组件与所述升降组件连接，所述辅助支撑杆与所述辅助连接组件连接，所述真空吸附件设于所述辅助支撑杆上。

本实用新型的基板取放机械臂通过支撑柱承载基板，并在支撑柱的两侧分别设置第一挡板和第二挡板进行限位，避免了使用真空吸附的方式取放基板，因此可以防止从高温区取放基板时在基板上产生斑纹，从而提高了平板显示器件的良率。

附图说明

图1为一实施例的基板取放机械臂的俯视图；

图2为图1说是的基板取放机械臂的局部侧视图；

图3为一实施例的基板取放装置的结构示意图；

图4为图3所示的基板取放装置的辅助机械臂的俯视图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“安装于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连通”另一个元件，它可以是直接连通到另一个元件或者可能同时存在居中元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。