[实用新型]一种光刻机用晶圆片匀胶装置

摘要

本实用新型公开了一种光刻机用晶圆片匀胶装置，包括工作台、固定连接在工作台上的电机，以及水平设于电机主轴上的真空吸盘，还包括一个L形的支撑板；所述工作台的正面设有一根水平尺；所述工作台的左侧面通过铰接轴转动连接在支撑板的竖直板部内侧面上；所述支撑板的竖直板部的内侧面上还设有两根水平设置的导轨和一根位于两根导轨之间，且水平设置的螺纹杆，其中所述螺纹杆的一端通过轴承转动连接在支撑板的竖直板部内侧面上；本实用新型可以通过调节螺纹杆使整个工作台处于水平状态，从而保证涂覆胶的厚度均匀。

主权项

1.一种光刻机用晶圆片匀胶装置，包括工作台（2）、固定连接在工作台（2）上的电机（3），以及水平设于电机（3）主轴上的真空吸盘（1），其特征在于：还包括一个L形的支撑板（4）；所述工作台（2）的正面设有一根水平尺（10）；所述工作台（2）的左侧面通过铰接轴（5）转动连接在支撑板（4）的竖直板部内侧面上；所述支撑板（4）的竖直板部的内侧面上还设有两根水平设置的导轨（6）和一根位于两根导轨（6）之间，且水平设置的螺纹杆（7），其中所述螺纹杆（7）的一端通过轴承转动连接在支撑板（4）的竖直板部内侧面上；所述导轨（6）上滑动连接有一个滑块（8）；所述螺纹杆（7）贯穿滑块（8），且与滑块（8）螺纹连接；所述工作台（2）的下底面和支撑板（4）的水平板部的上表面之间固定连接有拉簧（9）；所述工作台（2）右侧面为斜向右上方的倾斜面；所述滑块（8）的上表面也为与所述工作台（2）的倾斜面相适配的倾斜面。