[实用新型]一种光刻机用晶圆片匀胶装置

权利要求书

1.一种光刻机用晶圆片匀胶装置，包括工作台（2）、固定连接在工作台（2）上的电机（3），以及水平设于电机（3）主轴上的真空吸盘（1），其特征在于：还包括一个L形的支撑板（4）；所述工作台（2）的正面设有一根水平尺（10）；所述工作台（2）的左侧面通过铰接轴（5）转动连接在支撑板（4）的竖直板部内侧面上；所述支撑板（4）的竖直板部的内侧面上还设有两根水平设置的导轨（6）和一根位于两根导轨（6）之间，且水平设置的螺纹杆（7），其中所述螺纹杆（7）的一端通过轴承转动连接在支撑板（4）的竖直板部内侧面上；所述导轨（6）上滑动连接有一个滑块（8）；所述螺纹杆（7）贯穿滑块（8），且与滑块（8）螺纹连接；所述工作台（2）的下底面和支撑板（4）的水平板部的上表面之间固定连接有拉簧（9）；所述工作台（2）右侧面为斜向右上方的倾斜面；所述滑块（8）的上表面也为与所述工作台（2）的倾斜面相适配的倾斜面。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于：所述真空吸盘（1）内部具有中空腔（102），且上表面具有若干与中空腔（102）连通的吸孔（101）；所述中空腔（102）还与真空发生器（103）连接。

3.根据权利要求2所述的一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于：所述支撑板（4）的竖直板部上部设有一个水平朝向真空吸盘（1）上方的喷头（12），所述喷头（12）连接有风机（11）。

4.根据权利要求3所述的一种光刻机用晶圆片匀胶装置，其特征在于：所述螺纹杆（7）的右端固定连接有转柄（13）。