[实用新型]一种用于光伏行业的微气体质量流量计有效
| 申请号： | 201721219059.5 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN207662476U | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 黄建华;张清小;葛庆;滕东 | 申请（专利权）人： | 湖南理工职业技术学院 |
| 主分类号： | G01F1/86 | 分类号： | G01F1/86;G05D7/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411104 湖南省湘潭市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种用于光伏行业的微气体质量流量计。它主要是解决现有微气体质量流量计计量不准确等技术问题。其技术方案要点是：基于MEMS的热式气体质量传感器，用于将气体的质量流量转化模拟电压信号；信号调理电路，用于将热式气体质量传感器的输出的模拟信号进行放大、滤波，以便于A/D进行转换；12位的A/D转换器，用于将信号调理电路输出的模拟信号转换成数字信号，并送入高速微处理器进行处理；高速微处理器：用于接收A/D转换器送来的气体质量流量的数字信息，进行累加计算，并通过自身的RS485串行通信接口将气体质量的数据信号及累加信号送入工控机。它主要是应用于硅片、电池片生产企业中，可提升产品质量、节约生产原料的目的。 | ||
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【主权项】：
1.一种用于光伏行业的微气体质量流量计，其特征是：它包括：基于MEMS的热式气体质量传感器，用于将气体的质量流量转化模拟电压信号；信号调理电路，用于将热式气体质量传感器的输出的模拟信号进行放大、滤波操作，以便于A/D进行转换；12位的A/D转换器，用于将信号调理电路输出的模拟信号转换成数字信号，并送入高速微处理器进行处理；高速微处理器，用于接收A/D转换器送来的气体质量流量的数字信息，进行累加计算，并通过自身的RS485串行通信接口将气体质量的数据信号及累加信号送入工控机，另外，高速微处理器还能根据工控机的下置命令，用来控制微气体质量流量计的进口和出口比例电磁阀，进而达到控制微量气体质量流量的目的。
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