[实用新型]一种用于光伏行业的微气体质量流量计

说明书

一种用于光伏行业的微气体质量流量计。它主要是解决现有微气体质量流量计计量不准确等技术问题。其技术方案要点是：基于MEMS的热式气体质量传感器，用于将气体的质量流量转化模拟电压信号；信号调理电路，用于将热式气体质量传感器的输出的模拟信号进行放大、滤波，以便于A/D进行转换；12位的A/D转换器，用于将信号调理电路输出的模拟信号转换成数字信号，并送入高速微处理器进行处理；高速微处理器：用于接收A/D转换器送来的气体质量流量的数字信息，进行累加计算，并通过自身的RS485串行通信接口将气体质量的数据信号及累加信号送入工控机。它主要是应用于硅片、电池片生产企业中，可提升产品质量、节约生产原料的目的。

技术领域

本实用新型涉及一种气体质量流量计，特别是一种用于光伏行业的微气体质量流量计。

背景技术

目前，在光伏硅片和电池片生产企业中，大多数使用蝶阀来调节和控制气体的流量，而蝶阀存在以下缺点：

（1）流量调节范围小，在小开度和大开度下运行不稳定，不利于控制和调节微小气体的流量，也没办法对微小气体的流量进行精确控制；

（2）使用的压力和工作温度范围小，密封性较差，易导致生产性气体的泄露，易造成生产工作环境的污染；

本实用新型装置从微量气体流量测量和控制的精确度和稳定度及生产工作环境的环保度出发，通过将基于MEMS的热式质量传感器、信号调理电路、A/D转换器，高速微处理器、比例电磁阀和工控机组合在一起构成一种微气体质量流量计来，一方面可以精确控制和调节生产过程中所需的气体流量，从而达到精确和稳定地控制生产过程进而提高产品质量和效益的目的；另一方面该流量计通过比例电磁阀和工控机及高速微处理器的智能控制，可以有效地扩展工作温度和工作压力的范围，并能有效地防止生产性气体的泄漏，达到防止污染生产工作环境的目的。

发明内容

为解决现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种不仅可以用来控制和调节生产过程所需的微量气体流量，同时可以有效地防止生产所用气体的泄漏，提高生产工作环境的舒适度的用于光伏行业的微气体质量流量计。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：所述系统包括：

基于MEMS的热式气体质量传感器，用于将气体的质量流量转化模拟电压信号；

信号调理电路，用于将热式气体质量传感器的输出的模拟信号进行放大、滤波，以利

于A/D转换器进行转换；

12位的A/D转换器，用于将信号调理电路输出的模拟信号转换成数字信号，并送入高速微处理器进行处理；

高速微处理器，用于接收A/D转换器送来的气体质量流量的数字信息，进行累加计算，并通过自身的RS485串行通信接口将气体质量的数据信号及累加信号送入工控机，另外，高速微处理器还能根据工控机的下置命令，用来控制微气体质量流量计的进口和出口比例电磁阀，进而达到控制微量气体质量流量的目的。

工控机，用来接收和处理高速微处理器送来的气体质量信息，并和预先设定的气体质量的工艺参数进行比照，通过比照结果来控制比例电磁阀的开度，最终达到控制气体质量流量的目的。

比例电磁磁阀，用来控制进入和流出微气体质量流量计的气体质量流量。

本实用新型的有益效果是：它是一种具有微量气体质量控制和调节的流量计，可以精确控制生产所需气体的流量，还能通过工控机和高速微处理器智能控制进口和出口比例电磁阀，有效防止生产所用气体在流量计部分的泄漏。它主要是应用于气体质量控制和调节。

附图说明

图1是本实用新型的原理框图。

图2是本实用新型的安装效果图。

具体实施方式