[实用新型]一种用于光伏行业的微气体质量流量计

权利要求书

1.一种用于光伏行业的微气体质量流量计，其特征是：它包括：基于MEMS的热式气体质量传感器，用于将气体的质量流量转化模拟电压信号；

信号调理电路，用于将热式气体质量传感器的输出的模拟信号进行放大、滤波操作，以便于A/D进行转换；

12位的A/D转换器，用于将信号调理电路输出的模拟信号转换成数字信号，并送入高速微处理器进行处理；

高速微处理器，用于接收A/D转换器送来的气体质量流量的数字信息，进行累加计算，并通过自身的RS485串行通信接口将气体质量的数据信号及累加信号送入工控机，另外，高速微处理器还能根据工控机的下置命令，用来控制微气体质量流量计的进口和出口比例电磁阀，进而达到控制微量气体质量流量的目的。

2.根据权利要求1所述用于光伏行业的微气体质量流量计，其特征是：所述工控机，用来接收和处理高速微处理器送来的气体质量信息，并和预先设定的气体质量的工艺参数进行比照，通过比照结果来控制比例电磁阀的开度，最终达到控制气体质量流量的目的：比例电磁阀，用来控制进入和流出微气体质量流量计的气体质量流量。

3.根据权利要求1所述用于光伏行业的微气体质量流量计，其特征是：所述流量计包括：信号调理电路，用于将热式气体质量传感器的输出的模拟信号进行放大、滤波，使MEMS热式气体质量流量在0至5SLPM时，对应的输出模拟电压在0.5至4.5V，并使输出的模拟电压与气体质量流量之间呈现线性化的函数关系。

4.根据权利要求1所述用于光伏行业的微气体质量流量计，其特征是：所述高速微处理器，用来接收A/D转换器送来的数字信号信息，并将信息转换成RS485、MODBUSRTU协议数据格式向工控机上传。

5.根据权利要求1所述用于光伏行业的微气体质量流量计，其特征是：所述比例电磁阀，根据工控机传送给高速微处理器的控制信息，间接通过高速微处理器来控制比例电磁阀的开度，最终达到控制进入和输出质量流量计的气体质量流量的目的。