[实用新型]用于太阳能电池扩散或退火的上料及下料装置

摘要

本实用新型揭示了一种上料装置及下料装置，用于太阳能电池扩散或退火工序的硅片流转，其中该上料装置通过带推杆的叠片机实现两个满载的普通花篮合二为一，而后通过带推杆的插片机实现花篮的转载、实现高倍上料；该下料装置通过硅片过渡槽板和石英舟校准块的挡止和横向微调移位实现均分实现了硅片的分次转载至普通花篮。本实用新型该上、下料结构简单，保留实现相同功能的前提下大幅降低了设备和人力投入成本，且具有提高产能、杜绝碎片和降低生产能耗等全方面优势。

主权项

1.用于太阳能电池扩散或退火的上料装置，涉及将普通花篮中满载的硅片转载至石英舟，其特征在于：所述上料装置包括叠片机和插片机构成，所述叠片机设有第一推杆和竖直向承放普通花篮的第一载台、第二载台，且两个载台具有高度落差，两个满载的普通花篮开口相对地置于两个载台上，所述第一推杆自偏高位的普通花篮侧向朝偏低位的普通花篮推进退回动作，其中所述高度落差介于0.5d‑2mm至0.5d+2mm之间，d为普通花篮的槽间距；所述插片机具有倾斜状的第三载台，第三载台上设有石英舟定位器、花篮定位器、定位调节器和第二推杆，两个定位器相平行并使得装载其中的石英舟和普通花篮沿自身长度向倾斜承放，所述定位调节器连接并横向调整花篮定位器，使所装载的普通花篮与石英舟的槽对位，所述第二推杆自普通花篮侧向朝石英舟推进退回动作。