[实用新型]用于太阳能电池扩散或退火的上料及下料装置

权利要求书

1.用于太阳能电池扩散或退火的上料装置，涉及将普通花篮中满载的硅片转载至石英舟，其特征在于：所述上料装置包括叠片机和插片机构成，所述叠片机设有第一推杆和竖直向承放普通花篮的第一载台、第二载台，且两个载台具有高度落差，两个满载的普通花篮开口相对地置于两个载台上，所述第一推杆自偏高位的普通花篮侧向朝偏低位的普通花篮推进退回动作，其中所述高度落差介于0.5d-2mm至0.5d+2mm之间，d为普通花篮的槽间距；

所述插片机具有倾斜状的第三载台，第三载台上设有石英舟定位器、花篮定位器、定位调节器和第二推杆，两个定位器相平行并使得装载其中的石英舟和普通花篮沿自身长度向倾斜承放，所述定位调节器连接并横向调整花篮定位器，使所装载的普通花篮与石英舟的槽对位，所述第二推杆自普通花篮侧向朝石英舟推进退回动作。

2.根据权利要求1所述用于太阳能电池扩散或退火的上料装置，其特征在于：所述第一推杆、第二推杆为导向型的人工手动推杆或电机驱动推杆。

3.根据权利要求1所述用于太阳能电池扩散或退火的上料装置，其特征在于：所述第一载台和第二载台中的一个载台表面设有增高底座。

4.根据权利要求1所述用于太阳能电池扩散或退火的上料装置，其特征在于：所述叠片机包含设于第一载台或第二载台底部、调节高度落差的气动顶杆。

5.根据权利要求1所述用于太阳能电池扩散或退火的上料装置，其特征在于：所述石英舟的槽数为普通花篮槽数的两倍，所述插片机中普通花篮的槽分别与石英舟的奇数槽和偶数槽对位。

6.用于太阳能电池扩散或退火的下料装置，涉及将石英舟中满载的硅片转载至普通花篮，其特征在于：所述下料装置包括卸片载台及卸片载台上所装接的花篮落位框、硅片过渡槽板、石英舟定位座、石英舟校准块，其中所述硅片过渡槽板具有与普通花篮相同的槽间距且定位装接于花篮落位框面对石英舟定位座的旁侧；所述石英舟定位座相对卸片载台表面90°翻转设置，使敞口朝上落座的石英舟翻转后敞口与硅片过渡槽板正对；所述石英舟校准块设于石英舟定位座旁侧并用于侧向微调石英舟位置，使石英舟的奇数槽和偶数槽分别对位硅片过渡槽板的槽口。

7.根据权利要求6所述用于太阳能电池扩散或退火的下料装置，其特征在于：所述石英舟定位座设有导向槽板，在石英舟定位座朝硅片过渡槽板翻转并卸片载台倾斜状态下石英舟中的硅片沿导向槽板的齿槽滑动。

8.根据权利要求6所述用于太阳能电池扩散或退火的下料装置，其特征在于：所述硅片过渡槽板的槽口设为扩口状，且相邻两个槽口边缘的宽度满足挡止石英舟奇数槽或偶数槽的硅片。