[实用新型]喷嘴清洗装置及晶圆清洗装置有效
| 申请号： | 201721193371.1 | 申请日： | 2017-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN207357663U | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 王春峰 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 侯莉;毛立群 |
| 地址： | 300385*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种喷嘴清洗装置，包括清洗槽、所述清洗槽上表面设置有开口；设置在所述清洗槽至少一侧面的冲洗管，所述冲洗管的出液管口朝向所述喷嘴；设置在所述清洗槽至少一侧面的进口，所述进口连接所述冲洗管。所述喷嘴清洗装置可以自动清洗喷嘴，不用人工干预，节省人工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 清洗 装置 | ||
【主权项】：
1.一种喷嘴清洗装置，其特征在于，包括清洗槽、所述清洗槽上表面设置有开口；设置在所述清洗槽至少一侧面的冲洗管，所述冲洗管的出液管口朝向所述喷嘴；设置在所述清洗槽至少一侧面的进口，所述进口连接所述冲洗管。
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