[实用新型]喷嘴清洗装置及晶圆清洗装置

权利要求书

1.一种喷嘴清洗装置，其特征在于，包括清洗槽、所述清洗槽上表面设置有开口；

设置在所述清洗槽至少一侧面的冲洗管，所述冲洗管的出液管口朝向所述喷嘴；

设置在所述清洗槽至少一侧面的进口，所述进口连接所述冲洗管。

2.如权利要求1所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，所述喷嘴清洗装置的进口中通入有去离子水和保护气体。

3.如权利要求2所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，所述进口包含第一区和至少部分设置于所述第一区内的第二区。

4.如权利要求1所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，所述冲洗管的喷射方向与水平方向的夹角为5度-20度。

5.如权利要求2中所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，所述进口还包含第一入口、第二入口，通过所述第一入口向所述清洗槽通入所述去离子水，通过所述第二入口向所述清洗槽通入所述保护气体。

6.如权利要求2中所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，所述喷嘴清洗装置还包括流量控制装置，所述流量控制装置用于控制所述保护气体及所述去离子水的流量。

7.如权利要求1所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，所述清洗槽上表面的开口面积占所述清洗槽上表面面积的5％-50％。

8.如权利要求1所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，所述清洗槽长度为20cm-40cm，宽度为8cm-15cm，高度为10-30cm。

9.如权利要求1至8中任意一项所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，所述清洗槽的材料为不锈钢。

10.如权利要求1至8中任意一项所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，所述喷嘴清洗装置上还设置有固定装置，所述固定装置用于将所述喷嘴固定在所述喷嘴清洗装置上。

11.一种晶圆清洗装置，包括如权利要求1-10任意一项所述的喷嘴清洗装置。