[实用新型]一种扩散源瓶有效
| 申请号： | 201721164616.8 | 申请日： | 2017-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN207418917U | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 张春华;徐义胜;陈佳男;侯玉;衡阳;郑旭然;李栋;邢国强 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;F17C1/00;F17C13/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扩散源瓶，包括瓶体、进气管及连接端，所述瓶体设置有出气口和进气口；所述进气管的下端由所述进气口伸入所述瓶体内；所述进气管的下端由所述进气口伸入所述瓶体内并位于液面以下；所述连接端设置有腔室以及多个气孔，所述气孔位于所述连接端的外表面且与所述腔室连通，所述进气管的下端与所述腔室连通，所述气孔的直径不大于所述进气管的直径。该扩散源瓶中，气体通过进气管后进入连接端的腔室内，并通过连接端上设置的多个气孔进入液态扩散源中，增加了气体的出口，且出口的尺寸减小，使得氮气能够以更小、更加均匀的气泡通过液态扩散源，从而产生更加均匀的气态扩散源，提高扩散质量。 | ||
| 搜索关键词： | 进气管 进气口 扩散源瓶 连接端 腔室 液态扩散源 瓶体 伸入 连通 体内 氮气 本实用新型 尺寸减小 气态扩散 气体通过 出气口 下端 液面 出口 扩散 室内 | ||
【主权项】：
1.一种扩散源瓶，其特征在于，包括：瓶体(1)，所述瓶体(1)设置有出气口(11)和进气口；进气管(2)，所述进气管(2)的下端由所述进气口伸入所述瓶体(1)内并位于液面以下；连接端(3)，所述连接端(3)设置有腔室(31)以及多个气孔，所述气孔位于所述连接端(3)的外表面且与所述腔室(31)连通，所述进气管(2)的下端与所述腔室(31)连通，所述气孔的直径不大于所述进气管(2)的直径。
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