[实用新型]一种扩散源瓶

说明书

本实用新型公开了一种扩散源瓶，包括瓶体、进气管及连接端，所述瓶体设置有出气口和进气口；所述进气管的下端由所述进气口伸入所述瓶体内；所述进气管的下端由所述进气口伸入所述瓶体内并位于液面以下；所述连接端设置有腔室以及多个气孔，所述气孔位于所述连接端的外表面且与所述腔室连通，所述进气管的下端与所述腔室连通，所述气孔的直径不大于所述进气管的直径。该扩散源瓶中，气体通过进气管后进入连接端的腔室内，并通过连接端上设置的多个气孔进入液态扩散源中，增加了气体的出口，且出口的尺寸减小，使得氮气能够以更小、更加均匀的气泡通过液态扩散源，从而产生更加均匀的气态扩散源，提高扩散质量。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种扩散源瓶。

背景技术

太阳能电池的制备过程中，硅片需要依次经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。扩散工艺是太阳能电池制备过程中的一个核心工序，即硅片以石英舟为载体放入扩散炉中，在一定温度下，向扩散炉内通入氮气和扩散源，以使硅片的表面扩散沉积PN结。

现有技术中，如图1所示，用于扩散的源瓶一般包括瓶体1′、进气管2′和出气管11′，瓶体1′内盛放有用于扩散的液态扩散源，例如三氯氧磷或三溴化硼，进气管2′的下端伸入瓶体1′内，并位于液面以下。实际生产时，将氮气通过进气管2′通入瓶体1′内的液态扩散源内，氮气以鼓泡的方式通过液态的扩散源，并携带挥发的气态扩散源通过炉管进入扩散炉内，以进行扩散反应。

由于扩散源的浓度需求，现有的扩散源瓶中，进气管2′的直径较大，氮气通过鼓泡的方式进入液态扩散源内时，形成的气泡的体积较大，且氮气仅能通过单一的出口进入液态扩散源内，气泡的大小不均匀，相应的，气泡携带的气态扩散源的均匀程度也较差，影响扩散工艺的稳定性，硅片的扩散效果差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种扩散源瓶，气泡携带的气态扩散源分布均匀，有利于提高扩散工艺的稳定性。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种扩散源瓶，包括：

瓶体，所述瓶体设置有出气口和进气口；

进气管，所述进气管的下端由所述进气口伸入所述瓶体内并位于液面以下；

连接端，所述连接端设置有腔室以及多个气孔，所述气孔位于所述连接端的外表面且与所述腔室连通，所述进气管的下端与所述腔室连通，所述气孔的直径不大于所述进气管的直径。

其中，所述进气管包括进气主管及至少两个进气支管，所述进气主管的下端伸入所述瓶体内，所述进气支管的上端与所述进气主管连通、下端与所述腔室连通，且所述进气支管的直径小于所述进气主管的直径，所述气孔的直径不大于所述进气支管的直径。

其中，所述进气主管的直径为5mm～9mm。例如，所述进气主管的直径可以为5mm、6mm、7mm、8mm、9mm。

其中，所述进气支管的直径为2mm～4.9mm。例如，所述进气支管的直径可以为2mm、2.5mm、3mm、3.5mm、4mm、4.5mm、4.9mm。

其中，所述气孔的直径为0.5mm～2mm。例如，所述气孔的直径可以为0.5mm、1mm、1.5mm、2mm。

其中，多个所述气孔均布于所述连接端的外表面。

其中，所述连接端为球形结构。

其中，所述连接端内嵌套设置有至少两个所述腔室，所述进气支管与最内侧的所述腔室连通，相邻的所述腔室之间的壁面设置有多个通孔。

其中，所述连接端内设置有两个嵌套的腔室。

其中，多个所述通孔均布于所述壁面。