[实用新型]一种扩散源瓶有效
| 申请号： | 201721164616.8 | 申请日： | 2017-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN207418917U | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 张春华;徐义胜;陈佳男;侯玉;衡阳;郑旭然;李栋;邢国强 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;F17C1/00;F17C13/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 进气管 进气口 扩散源瓶 连接端 腔室 液态扩散源 瓶体 伸入 连通 体内 氮气 本实用新型 尺寸减小 气态扩散 气体通过 出气口 下端 液面 出口 扩散 室内 | ||
1.一种扩散源瓶，其特征在于，包括：
瓶体(1)，所述瓶体(1)设置有出气口(11)和进气口；
进气管(2)，所述进气管(2)的下端由所述进气口伸入所述瓶体(1)内并位于液面以下；
连接端(3)，所述连接端(3)设置有腔室(31)以及多个气孔，所述气孔位于所述连接端(3)的外表面且与所述腔室(31)连通，所述进气管(2)的下端与所述腔室(31)连通，所述气孔的直径不大于所述进气管(2)的直径。
2.如权利要求1所述的扩散源瓶，其特征在于，所述进气管(2)包括进气主管(21)及至少两个进气支管(22)，所述进气主管(21)的下端伸入所述瓶体(1)内，所述进气支管(22)的上端与所述进气主管(21)连通、下端与所述腔室(31)连通，且所述进气支管(22)的直径小于所述进气主管(21)的直径，所述气孔的直径不大于所述进气支管(22)的直径。
3.如权利要求2所述的扩散源瓶，其特征在于，所述进气主管(21)的直径为5mm～9mm，所述进气支管(22)的直径为2mm～4.9mm，所述气孔的直径为0.5mm～2mm。
4.如权利要求1-3中任一项所述的扩散源瓶，其特征在于，多个所述气孔均布于所述连接端(3)的外表面。
5.如权利要求1-3中任一项所述的扩散源瓶，其特征在于，所述连接端(3)为球体结构。
6.如权利要求1-3中任一项所述的扩散源瓶，其特征在于，所述连接端(3)内嵌套设置有至少两个所述腔室(31)，所述进气管(2)与最内侧的所述腔室(31)连通，相邻的所述腔室(31)之间的壁面设置有多个通孔。
7.如权利要求6所述的扩散源瓶，其特征在于，多个所述通孔均布于所述壁面。
8.如权利要求6所述的扩散源瓶，其特征在于，所述气孔的直径小于相邻的所述壁面上的通孔的直径；相邻的所述壁面中，外侧的所述壁面上的通孔的直径小于内侧的所述壁面上的通孔的直径。
9.如权利要求6所述的扩散源瓶，其特征在于，相邻的两个所述壁面上的所述通孔交错设置，所述气孔与相邻的所述壁面上的通孔交错设置。
10.如权利要求6所述的扩散源瓶，其特征在于，所述通孔的直径为2.1mm～5mm。
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