[实用新型]一种小弧源磁路结构有效

专利信息
申请号: 201721135249.9 申请日: 2017-09-06
公开(公告)号: CN207217214U 公开(公告)日: 2018-04-10
发明(设计)人: 杨元才;朱振东;钱鹏亮;褚景豫;熊凯 申请(专利权)人: 上海福宜真空设备有限公司
主分类号: H01F7/02 分类号: H01F7/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201821 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种小弧源磁路结构,包括磁铁组件,主轴、密封组件、同步轮、平键、定位套环、主轴高度调节机构;磁铁组件的下方连接一主轴;主轴穿入密封组件;同步轮;其特征在于,主轴上设置第一键槽;第一键槽内设置一平键;平键嵌入到第一键槽和同步轮上开设的第二键槽组成的凹槽中;同步轮的下方设置一定位套环;在定位套环的下方设置一主轴高度调节机构;通过在主轴上设置一主轴高度调节机构,进行在磁路结构的远、近状态下的调节,在不影响小弧源磁路结构的转动的状况下,形成小弧源磁路结构高低调节,克服了单一的固定式的磁路结构无法调节磁路的远、近方向的技术问题,满足了镀膜产品对于磁路结构的要求。
搜索关键词: 一种 小弧源 磁路 结构
【主权项】:
一种小弧源磁路结构,包括磁铁组件,主轴、密封组件、同步轮、平键、定位套环、主轴高度调节机构;所述的磁铁组件的下方连接一主轴;所述的主轴穿入密封组件;同步轮;其特征在于,所述的主轴上设置第一键槽;所述的第一键槽内设置一平键;所述的平键嵌入到第一键槽和同步轮上开设的第二键槽组成的凹槽中;所述的同步轮与主轴为滑动连接;所述的同步轮通过驱动力,驱动所述的主轴带动所述的磁铁组件旋转;所述的同步轮的下方设置一定位套环;在定位套环的下方设置一主轴高度调节机构。
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