[实用新型]一种小弧源磁路结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及磁路结构尤其涉及一种小弧源磁路结构。

背景技术

现在的多弧离子镀中多采用小弧源作为核心镀膜装置，这类型的小弧源一般都采用固定位置的磁路结构，这种的磁路结构无法调节高度也无法旋转，不能满足镀膜产品高均匀性的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足之处，本实用新型目的实现一种小弧源磁路结构，包括磁铁组件，主轴、密封组件、同步轮、平键、定位套环、主轴高度调节机构；所述的磁铁组件的下方连接一主轴；所述的主轴穿入密封组件；同步轮；其特征在于，所述的主轴上设置第一键槽；所述的第一键槽内设置一平键；所述的平键嵌入到第一键槽和同步轮上开设的第二键槽组成的凹槽中；所述的同步轮与主轴为滑动连接；所述的同步轮通过驱动力，驱动所述的主轴带动所述的磁铁组件旋转；所述的同步轮的下方设置一定位套环；在定位套环的下方设置一主轴高度调节机构。

进一步，所述的主轴高度调节机构还包括底座、调节长螺栓、内卡套、调节环、紧固螺栓；所述的主轴高度调节机构的底座上开设一圆孔；在圆孔内将内卡套套在主轴上；在内卡套的外侧套入第一轴承；并在内卡套的下方设置调节环；在调节环的中心位置穿入紧固螺栓，并拧入开设在主轴上的螺纹孔中；在调节环的中心对称位置穿入调节长螺栓；并拧入设置在内卡套螺纹通孔中。

进一步，所述的底座上以120°角设置3根立柱；立柱与底座为螺纹连接结构；在立柱的上方设置螺纹孔，螺栓穿过密封组件的下法兰以及垫层与立柱螺纹连接。

进一步，所述的密封组件，包括上法兰、下法兰、第二轴承、第三轴承、第一间隔环、第二间隔环；在上法兰、下法兰上个开设一个轴承孔；将第二轴承、第三轴承分别置于轴承孔中；在第二轴承的下方设置第二间隔环；在第二轴承的上方设置凸块；在凸块的上方放置填料；在填料的上方设置第一间隔环，在第一间隔环的上方设置第三轴承；主轴从上至下以此穿过第三轴承、第一间隔环、填料、第二轴承、凸块、第二间隔环；第二间隔环设置在下法兰下方的同步轮上；间隔第二轴承和同步轮。

进一步，所述的磁铁组件包括圆板、磁铁；在圆板上环形分布若干个磁铁。

进一步，所述的第一键槽的长度大于平键的长度。

进一步，在所述的同步轮上正对第一键槽的方向上设置一定位螺栓。

本实用新型的技术效果在于，通过在主轴上设置一主轴高度调节机构，进行磁路结构的远、近状态下的调节，在不影响小弧源磁路结构的转动的状况下，形成小弧源磁路结构高低调节，克服了单一的固定式的磁路结构无法调节磁路的技术问题，本实用新型中的磁路磁路结构既可以调节高度也可以旋转，满足了镀膜产品对于磁路结构的要求。

附图说明

图1是本实用新型的示意图。

图2是本实用新型的主视图。

图3是本实用新型的仰视图。

图4是本实用新型的在伸出状态下的全剖视图。

图5是本实用新型的在缩回状态下的全剖视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

结合附图1、附图2、附图3、附图4、附图5所示，本实施例公开了一种小弧源磁路结构，包括磁铁组件1，主轴2、密封组件3、同步轮10、平键4、定位套环6、主轴高度调节机构100；在本实施例中，磁铁组件1的下方连接一主轴2；主轴2穿入密封组件3；同步轮10在主轴2上设置第一键槽21；第一键槽21内设置一平键4；平键4嵌入到第一键槽21和同步轮10上开设的第二键槽22组成的凹槽中；同步轮10与主轴2为滑动连接；同步轮10通过驱动力，这里所述的驱动力为电机驱动；电机可以是异步电机，同步电机、伺服电机中的任意一种；利用电机驱动主轴2带动磁铁组件1旋转；同时，在同步轮10 的下方设置一定位套环6；在定位套环6的下方设置一主轴高度调节机构100。上述的结构是主要解决单一的固定式的磁路结构无法调节磁路的技术问题；通过电机驱动同步轮10 驱动磁铁组件1旋转，再利用在主轴2的端部设置主轴高度调节机构100；进行整体设置在主轴2上的磁铁组件1进行伸出、缩回的状态的操作；实现了磁路结构既可以调节高度也可以旋转的要求，从而满足了镀膜产品对于磁路结构的要求。