[实用新型]一种小弧源磁路结构有效

专利信息
申请号: 201721135249.9 申请日: 2017-09-06
公开(公告)号: CN207217214U 公开(公告)日: 2018-04-10
发明(设计)人: 杨元才;朱振东;钱鹏亮;褚景豫;熊凯 申请(专利权)人: 上海福宜真空设备有限公司
主分类号: H01F7/02 分类号: H01F7/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201821 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 小弧源 磁路 结构
【权利要求书】:

1.一种小弧源磁路结构,包括磁铁组件,主轴、密封组件、同步轮、平键、定位套环、主轴高度调节机构;所述的磁铁组件的下方连接一主轴;所述的主轴穿入密封组件;同步轮;其特征在于,所述的主轴上设置第一键槽;所述的第一键槽内设置一平键;所述的平键嵌入到第一键槽和同步轮上开设的第二键槽组成的凹槽中;所述的同步轮与主轴为滑动连接;所述的同步轮通过驱动力,驱动所述的主轴带动所述的磁铁组件旋转;所述的同步轮的下方设置一定位套环;在定位套环的下方设置一主轴高度调节机构。

2.如权利要求1所述的一种小弧源磁路结构,其特征在于,所述的主轴高度调节机构还包括底座、调节长螺栓、内卡套、调节环、紧固螺栓;所述的主轴高度调节机构的底座上开设一圆孔;在圆孔内将内卡套套在主轴上;在内卡套的外侧套入第一轴承;并在内卡套的下方设置调节环;在调节环的中心位置穿入紧固螺栓,并拧入开设在主轴上的螺纹孔中;在调节环的中心对称位置穿入调节长螺栓;并拧入设置在内卡套上的螺纹通孔中。

3.如权利要求2所述的一种小弧源磁路结构,其特征在于,所述的底座上以120°角设置3根立柱;立柱与底座为螺纹连接结构;在立柱的上方设置螺纹孔,螺栓穿过密封组件的下法兰以及垫层与立柱螺纹连接。

4.如权利要求1所述的一种小弧源磁路结构,其特征在于,所述的密封组件,包括上法兰、下法兰、第二轴承、第三轴承、第一间隔环、第二间隔环、填料;在上法兰、下法兰上个开设一个轴承孔;将第二轴承、第三轴承分别置于轴承孔中;在第二轴承的下方设置第二间隔环;在第二轴承的上方设置凸块;在凸块的上方放置填料;在填料的上方设置第一间隔环,在第一间隔环的上方设置第三轴承;主轴从上至下依次穿过第三轴承、第一间隔环、填料、第二轴承、凸块、第二间隔环;第二间隔环设置在下法兰下方的同步轮上;间隔第二轴承和同步轮。

5.如权利要求1所述的一种小弧源磁路结构,其特征在于,所述的磁铁组件包括圆板、磁铁;在圆板上环形分布若干个磁铁。

6.如权利要求1所述的一种小弧源磁路结构,其特征在于,所述的第一键槽的长度大于平键的长度。

7.如权利要求1所述的一种小弧源磁路结构,其特征在于,在所述的同步轮上正对第一键槽的方向上设置一定位螺栓。

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