[实用新型]电极的锁紧装置、锁紧总成及PECVD设备有效
| 申请号： | 201721025558.0 | 申请日： | 2017-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN207009399U | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 杨娜 | 申请（专利权）人： | 君泰创新（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司11252 | 代理人： | 周放,张春雨 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种电极的锁紧装置、锁紧总成及PECVD设备，其中，该锁紧装置包括用于固定在电极上的锁紧座；压柄，底端具有用于压紧电极的圆弧部；所述压柄与所述锁紧座转动连接，且二者相连的转动中心与所述圆弧部的圆心为偏心设置。本实用新型提供的电极的锁紧装置、锁紧总成及PECVD设备通过设置压柄与锁紧座转动连接的转动中心与压柄的底端圆弧部的圆心为偏心设置，仅需转动压柄即可实现对电极的锁紧，其结构简单，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 装置 总成 pecvd 设备 | ||
【主权项】：
一种电极的锁紧装置，其特征在于，包括：用于固定在电极上的锁紧座；压柄，底端具有用于压紧电极的圆弧部；所述压柄与所述锁紧座转动连接，且二者相连的转动中心与所述圆弧部的圆心为偏心设置。
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