[实用新型]电极的锁紧装置、锁紧总成及PECVD设备有效
| 申请号： | 201721025558.0 | 申请日： | 2017-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN207009399U | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 杨娜 | 申请（专利权）人： | 君泰创新（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司11252 | 代理人： | 周放,张春雨 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电极 装置 总成 pecvd 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种电极的锁紧装置，其特征在于，包括：
用于固定在电极上的锁紧座；
压柄，底端具有用于压紧电极的圆弧部；所述压柄与所述锁紧座转动连接，且二者相连的转动中心与所述圆弧部的圆心为偏心设置。
2.根据权利要求1所述的电极的锁紧装置，其特征在于，所述锁紧座上开设有凹槽，所述圆弧部容置在所述凹槽内。
3.根据权利要求2所述的电极的锁紧装置，其特征在于，所述压柄上设置有销孔，所述销孔内穿设有销钉，所述销钉与所述锁紧座转动连接。
4.根据权利要求1-3任一项所述的电极的锁紧装置，其特征在于，所述压柄为圆柱状。
5.一种电极的锁紧总成，包括电极，其特征在于，所述锁紧总成还包括权利要求1-4任一项所述的电极的锁紧装置，所述锁紧座固定在所述电极上。
6.根据权利要求5所述的电极的锁紧总成，其特征在于，还包括轴套，与所述锁紧座固定连接，且设置在所述锁紧座与所述电极之间，所述圆弧部压紧在所述轴套上。
7.根据权利要求6所述的电极的锁紧总成，其特征在于，所述锁紧座通过铆钉与所述轴套固定连接。
8.根据权利要求5-7任一项所述的电极的锁紧总成，其特征在于，所述电极为平板状。
9.根据权利要求5-7任一项所述的电极的锁紧总成，其特征在于，所述电极为圆轴形状。
10.一种PECVD设备，其特征在于，包括权利要求5-9任一项所述的电极的锁紧总成。
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