[实用新型]电极的锁紧装置、锁紧总成及PECVD设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池的制造辅助工具，尤其涉及一种电极的锁紧装置及电极的锁紧总成。

背景技术

在光伏电池领域，PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积)设备作为生产薄膜太阳能电池的关键设备，广泛应用于不同类型导电膜层的制备工艺中，比如硅基薄膜、纳米硅薄膜、HIT非晶硅膜层等。

为满足产线上太阳能电池薄膜的膜层质量与产能要求，膜层的制备通常会采用高频、或高频高功率的电源，而传统的PECVD设备的电极在使用高频电源进行功率输出的条件下往往容易松动，从而导致电源功率输出不稳定，而电极作为PECVD设备的重要组成部分，在其工作过程中，需要对电极进行锁紧，以保证稳定的工作状态。现有技术中的锁紧装置结构均较为复杂，因此有必要设计一种简单、易操作的锁紧装置对PECVD设备的电极进行锁紧。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种电极的锁紧装置、锁紧总成及PECVD设备，以解决现有技术中的问题，简化锁紧装置的结构，便于操作。

本实用新型提供了一种电极的锁紧装置，其中，包括：

用于固定在电极上的锁紧座；

压柄，底端具有用于压紧电极的圆弧部；所述压柄与所述锁紧座转动连接，且二者相连的转动中心与所述圆弧部的圆心为偏心设置。

如上所述的电极的锁紧装置，其中，优选的是，所述锁紧座上开设有凹槽，所述圆弧部容置在所述凹槽内。

如上所述的电极的锁紧装置，其中，优选的是，所述压柄上设置有销孔，所述销孔内穿设有销钉，所述销钉与所述锁紧座转动连接。

如上所述的电极的锁紧装置，其中，优选的是，所述压柄为圆柱状。

本实用新型还提供了一种电极的锁紧总成，包括电极，其中，所述锁紧总成还包括本实用新型提供的电极的锁紧装置，所述锁紧座固定在所述电极上。

如上所述的电极的锁紧总成，其中，优选的是，还包括轴套，与所述锁紧座固定连接，且设置在所述锁紧座与所述电极之间，所述圆弧部压紧在所述轴套上。

如上所述的电极的锁紧总成，其中，优选的是，所述锁紧座通过铆钉与所述轴套固定连接。

如上所述的电极的锁紧总成，其中，优选的是，所述电极为平板状。

如上所述的电极的锁紧总成，其中，优选的是，所述电极为圆轴形状。

本实用新型再提供了一种PECVD设备，其中，包括本实用新型提供的电极的锁紧总成。

本实用新型提供的电极的锁紧装置、锁紧总成及PECVD设备通过设置压柄与锁紧座转动连接的转动中心与压柄的底端圆弧部的圆心为偏心设置，仅需转动压柄即可实现对电极的锁紧，其结构简单，操作方便。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的电极的锁紧总成的结构主剖视图；

图2为锁紧座与压柄配合的断面图。

附图标记说明：

1-锁紧座 11-凹槽 2-压柄 21-圆弧部 22-销孔 3-电极 4-轴套 5-铆钉

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。

本实用新型实施例提供了一种电极的锁紧装置，用于锁紧PECVD设备中的电极，本实用新型实施例还提供了一种电极的锁紧总成，请参照图1，图1为本实用新型实施例提供的电极的锁紧总成的结构主剖视图，该锁紧装置包括锁紧座1和压柄2。其中，锁紧座1用于固定在电极3上。电极3可以是现有技术中的板状或回转体形状，例如可以是圆轴状或带有阶梯的圆轴状。锁紧座1的形状可以根据电极3的形状来具体设置，并与电极3的形状相匹配，本实施例以电极3为带有阶梯的圆柱状为例进行说明。

压柄2的形状也可以有多种，本实施例中，压柄2为圆柱状，便于手持握紧。压柄2的底端具有用于压紧电极3的圆弧部21，该压柄2与锁紧座1转动连接，二者相连的转动中心与圆弧部21的圆心为偏心设置。压柄2从A位置转动到B位置，产生如图1所示的偏移量t，由于上述的偏心设置使压柄2底端的圆弧部21对电极3的表面产生挤压，从而缩小了锁紧座1与电极之间的间隙，从而达到锁紧电极3的作用。