[实用新型]硅片导向机构

摘要

本实用新型公开了一种硅片导向机构，包括第一导向装置和第二导向装置，所述第一导向装置用于将夹具中的硅片顶起，沿竖直方向对所述硅片进行支撑导向；所述第二导向装置成对设置在所述第一导向装置的上方两侧，用于将被支撑于所述第一导向装置上的所述硅片沿水平方向进行摆放姿态的导向调整。本实用新型通过对硅片的摆放姿态的导向调整，改变硅片间的间距，便于硅片吸盘的插入，对硅片进行抓取，从而避免了硅片吸盘触碰并损坏硅片。

主权项

一种硅片导向机构，其特征在于，包括：第一导向装置（1）和第二导向装置（2），所述第二导向装置（2）成对设置在所述第一导向装置（1）的上方两侧；所述第一导向装置（1）包括第一导向板驱动组件（11）和设置在第一导向板驱动组件（11）驱动端的第一导向板（12），所述第一导向板（12）朝向硅片（3）的一侧具有锯齿状的第一导向部（121），所述第一导向板驱动组件（11）驱动所述第一导向板（12）将夹具中的硅片（3）顶升至所述第二导向装置（2）之间；所述第二导向装置（2）包括第二导向板驱动组件A（21）、第二导向板驱动组件B（22）、第二导向板A（23）和第二导向板B（24），所述第二导向板A（23）设置在所述第二导向板驱动组件A（21）的驱动端，所述第二导向板B（24）设置在所述第二导向板驱动组件B（22）的驱动端，所述第二导向板A（23）和所述第二导向板B（24）上下设置且相互平行；所述第二导向板A（23）朝向所述硅片（3）的一侧具有锯齿状的第二导向部A，所述第二导向板B（24）朝向所述硅片（3）的一侧具有锯齿状的第二导向部B（241）；所述第二导向板驱动组件A（21）用于驱动所述第二导向板A（23）左右运动，使得每个所述硅片（3）相互平行地摆放在所述第二导向部A的锯齿的齿槽里；所述第二导向板驱动组件B（22）用于驱动所述第二导向板B（24）左右运动，使得每两个所述硅片（3）上端相互抵靠地摆放在所述第二导向部B（241）的锯齿的一个齿槽里。