[实用新型]硅片导向机构有效
| 申请号: | 201720967130.1 | 申请日: | 2017-08-04 |
| 公开(公告)号: | CN207217566U | 公开(公告)日: | 2018-04-10 |
| 发明(设计)人: | 杨玉峰 | 申请(专利权)人: | 无锡先导智能装备股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 硅片 导向 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及光伏自动化设备领域,具体是涉及一种硅片导向机构。背景技术
在太阳能电池生产环节中,采用夹具存放硅片时,相邻硅片之间的间距为2.38mm,而市场上普遍采用的硅片吸盘厚度一般为1.5-2mm,采用上述硅片吸盘从夹具中吸取硅片时,容易触碰到硅片,将其损坏。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种硅片导向机构,通过对硅片的摆放姿态的导向调整,改变硅片间的间距,便于硅片吸盘的插入,对硅片进行抓取。
本实用新型的上述目的可采用下列技术方案来实现:本实用新型提供一种硅片导向机构,包括第一导向装置和第二导向装置,所述第二导向装置成对设置在所述第一导向装置的上方两侧;所述第一导向装置包括第一导向板驱动组件和设置在第一导向板驱动组件驱动端的第一导向板,所述第一导向板朝向硅片的一侧具有锯齿状的第一导向部,所述第一导向板驱动组件驱动所述第一导向板将夹具中的硅片顶升至所述第二导向装置之间;所述第二导向装置包括第二导向板驱动组件A、第二导向板驱动组件B、第二导向板A和第二导向板B,所述第二导向板A设置在所述第二导向板驱动组件A的驱动端,所述第二导向板B设置在所述第二导向板驱动组件B的驱动端,所述第二导向板A和所述第二导向板B上下设置且相互平行;所述第二导向板A朝向所述硅片的一侧具有锯齿状的第二导向部A,所述第二导向板B朝向所述硅片的一侧具有锯齿状的第二导向部B;所述第二导向板驱动组件A用于驱动所述第二导向板A左右运动,使得每个所述硅片相互平行地摆放在所述第二导向部A的锯齿的齿槽里;所述第二导向板驱动组件B用于驱动所述第二导向板B左右运动,使得每两个所述硅片上端相互抵靠地摆放在所述第二导向部B的锯齿的一个齿槽里。
在本实用新型的实施例中,所述第一导向部的锯齿的齿距与所述硅片的间距相等,所述第二导向部A的锯齿的齿尖间距和所述第一导向部的锯齿的齿尖间距相等,所述第二导向部B的锯齿的齿尖间距是所述第一导向部的锯齿的齿尖间距的两倍。
在本实用新型的实施例中,所述第二导向部B的锯齿的齿槽呈“V”形。
在本实用新型的实施例中,所述第二导向板驱动组件A和所述第二导向板驱动组件B分别设置在第二底板上,所述第二底板前后两端分别垂设有第二立板,两个所述第二立板顶端设置有第二顶板;所述第二底板上部前后两侧设置有第二导向件A,所述第二导向件A位于两个所述第二立板之间,两个所述第二导向件A的滑动端连接有第二连接板A,所述第二连接板A下部设置有第二导向板A,所述第二导向板驱动组件A的驱动端连接在所述第二连接板A上;所述第二顶板下部前后两侧设置有第二导向件B,所述第二导向件B位于两个所述第二立板之间,两个所述第二导向件B的滑动端连接有第二连接板B,所述第二连接板B上部设置有第二导向板B,所述第二导向板驱动组件B的驱动端连接在所述第二连接板B上。
在本实用新型的实施例中,所述第二导向板驱动组件B与第二导向板驱动组件A具有至少两段驱动行程。
在本实用新型的实施例中,所述第二导向板驱动组件B与第二导向板驱动组件A具有相同的结构。
在本实用新型的实施例中,所述第二导向板驱动组件A包括第一气缸A、第二气缸A、第一气缸连接块A、第二气缸连接块A和气缸导向件A,所述第一气缸A远离驱动端的一端与所述第二气缸A远离驱动端的一端固定连接,所述第一气缸A的驱动端连接在所述第一气缸连接块A上,所述第二气缸A设置在所述第二气缸连接块A上,所述气缸导向件A设置在所述第二底板上且固定设置在所述第二气缸连接块A的水平部分的下部。
在本实用新型的实施例中,所述第一导向部的锯齿的齿槽呈“Y”形,所述齿槽包括竖直的深槽部和“V”形浅槽部,所述浅槽部的底端和所述深槽部的顶端相连通。
在本实用新型的实施例中,所述第一导向板驱动组件设置在第一底板上,沿所述第一导向板驱动组件驱动方向平行设置有第一导向件,所述第一导向板驱动组件的驱动端和所述第一导向件的滑动端连接有升降活动板,所述升降活动板上设置有第一连接板,所述第一连接板左右两侧对称设置有第一导向板。
在本实用新型的实施例中,所述第一导向板驱动组件由电机组成,所述电机通过联轴器与丝杆连接,所述丝杆上设置有丝杆螺母,所述丝杆螺母与所述升降活动板连接;所述电机驱动所述丝杆上的所述丝杆螺母运动,带动所述升降活动板升降运动。
本实用新型的有益效果在于:通过对硅片的摆放姿态的导向调整,改变硅片间的间距,便于硅片吸盘的插入,对硅片进行抓取,从而避免了硅片吸盘触碰并损坏硅片。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





