[实用新型]硅片导向机构

权利要求书

1.一种硅片导向机构，其特征在于，包括：第一导向装置（1）和第二导向装置（2），所述第二导向装置（2）成对设置在所述第一导向装置（1）的上方两侧；

所述第一导向装置（1）包括第一导向板驱动组件（11）和设置在第一导向板驱动组件（11）驱动端的第一导向板（12），所述第一导向板（12）朝向硅片（3）的一侧具有锯齿状的第一导向部（121），所述第一导向板驱动组件（11）驱动所述第一导向板（12）将夹具中的硅片（3）顶升至所述第二导向装置（2）之间；

所述第二导向装置（2）包括第二导向板驱动组件A（21）、第二导向板驱动组件B（22）、第二导向板A（23）和第二导向板B（24），所述第二导向板A（23）设置在所述第二导向板驱动组件A（21）的驱动端，所述第二导向板B（24）设置在所述第二导向板驱动组件B（22）的驱动端，所述第二导向板A（23）和所述第二导向板B（24）上下设置且相互平行；

所述第二导向板A（23）朝向所述硅片（3）的一侧具有锯齿状的第二导向部A，所述第二导向板B（24）朝向所述硅片（3）的一侧具有锯齿状的第二导向部B（241）；

所述第二导向板驱动组件A（21）用于驱动所述第二导向板A（23）左右运动，使得每个所述硅片（3）相互平行地摆放在所述第二导向部A的锯齿的齿槽里；所述第二导向板驱动组件B（22）用于驱动所述第二导向板B（24）左右运动，使得每两个所述硅片（3）上端相互抵靠地摆放在所述第二导向部B（241）的锯齿的一个齿槽里。

2.根据权利要求1所述的硅片导向机构，其特征在于：所述第一导向部（121）的锯齿的齿距与所述硅片（3）的间距相等，所述第二导向部A的锯齿的齿尖间距和所述第一导向部（121）的锯齿的齿尖间距相等，所述第二导向部B（241）的锯齿的齿尖间距是所述第一导向部（121）的锯齿的齿尖间距的两倍。

3.根据权利要求1或2所述的硅片导向机构，其特征在于：所述第二导向部B（241）的锯齿的齿槽呈“V”形。

4.根据权利要求1所述的硅片导向机构，其特征在于：所述第二导向板驱动组件A（21）和所述第二导向板驱动组件B（22）分别设置在第二底板（251）上，所述第二底板（251）前后两端分别垂设有第二立板（252），两个所述第二立板（252）顶端设置有第二顶板（253）；所述第二底板（251）上部前后两侧设置有第二导向件A（28），所述第二导向件A（28）位于两个所述第二立板（252）之间，两个所述第二导向件A（28）的滑动端连接有第二连接板A（29），所述第二连接板A（29）下部设置有第二导向板A（23），所述第二导向板驱动组件A（21）的驱动端连接在所述第二连接板A（29）上；所述第二顶板（253）下部前后两侧设置有第二导向件B（26），所述第二导向件B（26）位于两个所述第二立板（252）之间，两个所述第二导向件B（26）的滑动端连接有第二连接板B（27），所述第二连接板B（27）上部设置有第二导向板B（24），所述第二导向板驱动组件B（22）的驱动端连接在所述第二连接板B（27）上。

5.根据权利要求4所述的硅片导向机构，其特征在于：所述第二导向板驱动组件B（22)与第二导向板驱动组件A(21)具有至少两段驱动行程。

6.根据权利要求5所述的硅片导向机构，其特征在于：所述第二导向板驱动组件B（22)与第二导向板驱动组件A(21)具有相同的结构。

7.根据权利要求6所述的硅片导向机构，其特征在于：所述第二导向板驱动组件A（21）包括第一气缸A（211）、第二气缸A（212）、第一气缸连接块A（213）、第二气缸连接块A（215）和气缸导向件A（214），所述第一气缸A（211）远离驱动端的一端与所述第二气缸A（212）远离驱动端的一端固定连接，所述第一气缸A（211）的驱动端连接在所述第一气缸连接块A（213）上，所述第二气缸A（212）设置在所述第二气缸连接块A（215）上，所述气缸导向件A（214）设置在所述第二底板（251）上且固定设置在所述第二气缸连接块A（215）的水平部分的下部。

8.根据权利要求1所述的硅片导向机构，其特征在于：所述第一导向部（121）的锯齿的齿槽呈“Y”形，所述齿槽包括竖直的深槽部和“V”形浅槽部，所述浅槽部的底端和所述深槽部的顶端相连通。