[实用新型]一种蓝宝石衬底片双面抛光装置有效
| 申请号： | 201720959000.3 | 申请日： | 2017-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN207372924U | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 向齐涛;沈思情;刘浦锋;宋洪伟;陈猛 | 申请（专利权）人： | 上海超硅半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 201604 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种蓝宝石衬底片双面抛光装置，所述装置由上至下依次包括上抛光组件、抛光定位模板和下抛光组件；其中上抛光组件包括抛头，抛头顶部设有抛头固定器件以及与抛头固定器件相连的气缸转动轴承，抛头两端设有贯通第一抛头的磨料进入口；所述下抛光组件包括磨盘和抛光承载台，磨盘置于抛光承载台上，所述抛光承载台下方中部设有转动轴承，所述抛光承载台一侧设有贯通抛光承载台的磨料回收管道。本实用新型所述装置可以对贴合的两片蓝宝石衬底片进行单面抛光，增加了一次性抛光的蓝宝石衬底片数量，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 衬底 双面 抛光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蓝宝石衬底片双面抛光装置，其特征在于，所述装置由上至下依次包括上抛光组件、抛光定位模板(1)和下抛光组件；其中上抛光组件包括抛头(2)，抛头(2)顶部设有抛头固定器件(3)以及与抛头固定器件(3)相连的气缸转动轴承(4)，抛头(2)两端设有贯通抛头(2)的磨料进入口(5)；所述下抛光组件包括磨盘(6)和抛光承载台(7)，磨盘(6)置于抛光承载台(7)上，所述抛光承载台(7)下方中部设有转动轴承(8)，所述抛光承载台(7)一侧设有贯通抛光承载台(7)的磨料回收管道(9)。
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