[实用新型]一种蓝宝石衬底片双面抛光装置有效
| 申请号： | 201720959000.3 | 申请日： | 2017-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN207372924U | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 向齐涛;沈思情;刘浦锋;宋洪伟;陈猛 | 申请（专利权）人： | 上海超硅半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 201604 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 衬底 双面 抛光 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种蓝宝石衬底片双面抛光装置，其特征在于，所述装置由上至下依次包括上抛光组件、抛光定位模板(1)和下抛光组件；其中上抛光组件包括抛头(2)，抛头(2)顶部设有抛头固定器件(3)以及与抛头固定器件(3)相连的气缸转动轴承(4)，抛头(2)两端设有贯通抛头(2)的磨料进入口(5)；所述下抛光组件包括磨盘(6)和抛光承载台(7)，磨盘(6)置于抛光承载台(7)上，所述抛光承载台(7)下方中部设有转动轴承(8)，所述抛光承载台(7)一侧设有贯通抛光承载台(7)的磨料回收管道(9)。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底片双面抛光装置，其特征在于，所述磨料进入口(5)上方设有磨料输送管(10)。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底片双面抛光装置，其特征在于，所述抛光定位模板(1)通过模板固定器件(11)固定于抛光组件和承载组件之间。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石衬底片双面抛光装置，其特征在于，所述抛光定位模板(1)与模板固定器件(11)之间通过齿轮咬合。
5.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底片双面抛光装置，其特征在于，所述抛头(2)和磨盘(6)上均贴有抛光布。
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