[实用新型]一种MEMS麦克风的封装结构有效
| 申请号： | 201720952095.6 | 申请日： | 2017-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN207124766U | 公开（公告）日： | 2018-03-20 |
| 发明（设计）人： | 刘波 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 王昭智,马佑平 |
| 地址： | 266104 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种MEMS麦克风的封装结构，包括由基板、壳体围成的外部封装，以及设置在基板上的麦克风芯片、ASIC芯片；在所述基板上设置有与麦克风芯片对应设置的声孔；所述麦克风芯片包括衬底以及设置在衬底上的由振膜、背极构成的电容器结构；在所述振膜的表面还设置有不透光层或反光层。本实用新型的封装结构，通过在振膜的表面形成反光层或者不透光层，由此可阻碍外界的光线穿过较薄的振膜进入到外部封装的内部，改善了产品的光噪声问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 封装 结构 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风的封装结构，其特征在于：包括由基板(1)、壳体(2)围成的外部封装，以及设置在基板(1)上的麦克风芯片(4)、ASIC芯片(5)；在所述基板(1)上设置有与麦克风芯片(4)对应设置的声孔(6)；所述麦克风芯片(4)包括衬底以及设置在衬底上的由振膜(4b)、背极(4a)构成的电容器结构；在所述振膜(4b)的表面还设置有不透光层(8)。
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