[实用新型]光波导薄膜及阵列波导光栅有效
| 申请号： | 201720924646.8 | 申请日： | 2017-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN207216077U | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 王明利;曹华燕;周培 | 申请（专利权）人： | 深圳正和捷思科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518116 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种光波导薄膜和应用该光波导薄膜的阵列波导光栅，所述光波导薄膜包括硅基底层和设于所述硅基底层一侧的二氧化锆芯层、及包裹于所述二氧化锆芯层外表面的二氧化硅层，所述二氧化硅层与所述硅基底层层之间还设有连接层，所述连接层采用聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯、聚二甲酸乙醇酯中的任一项，所述连接层在波长为0.750um‑1.55um范围内为透明，且折射率为1.40‑1.70。本实用新型技术方案的光波导薄膜结构通过在硅基底层和二氧化硅层之间设置连接层，可以很好的解决硅基底和二氧化硅直接接触容易脱落或卷曲的缺陷，并且韧性更好。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 薄膜 阵列 光栅 | ||
【主权项】：
一种光波导薄膜，应用于阵列波导光栅，其特征在于，所述光波导薄膜(100)包括硅基底层(10)和设于所述硅基底层(10)一侧的二氧化锆芯层(70)及包裹于所述二氧化锆芯层(70)外表面的二氧化硅层(50)，所述二氧化硅层(50)与所述硅基底层(10)层之间还设有连接层(30)，所述连接层(30)采用聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯、聚二甲酸乙醇酯中的任一项，所述连接层(30)在波长为0.750um‑1.55um范围内为透明，且折射率为1.40‑1.70。
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