[实用新型]光波导薄膜及阵列波导光栅

权利要求书

1.一种光波导薄膜，应用于阵列波导光栅，其特征在于，所述光波导薄膜(100)包括硅基底层(10)和设于所述硅基底层(10)一侧的二氧化锆芯层(70)及包裹于所述二氧化锆芯层(70)外表面的二氧化硅层(50)，所述二氧化硅层(50)与所述硅基底层(10)层之间还设有连接层(30)，所述连接层(30)采用聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯、聚二甲酸乙醇酯中的任一项，所述连接层(30)在波长为0.750um-1.55um范围内为透明，且折射率为1.40-1.70。

2.如权利要求1所述的光波导薄膜，其特征在于，所述连接层(30)采用聚甲基丙烯酸甲酯，其在波长为0.80um-1.50um范围内为透明，且折射率为1.40-1.58。

3.如权利要求2所述的光波导薄膜，其特征在于，所述连接层(30)的厚度值为18um-20um。

4.如权利要求3所述的光波导薄膜，其特征在于，所述连接层(30)的厚度值为19um。

5.如权利要求1所述的光波导薄膜，其特征在于，所述二氧化锆芯层(70)的厚度值为4.5um-5.5um。

6.如权利要求5所述的光波导薄膜，其特征在于，所述二氧化锆芯层(70)的厚度值为5um。

7.如权利要求1所述的光波导薄膜，其特征在于，所述二氧化硅层(50)的厚度值为2.5um-3.5um。

8.如权利要求7所述的光波导薄膜，其特征在于，所述二氧化硅层(50)的厚度值为3um。

9.如权利要求3所述的光波导薄膜，其特征在于，所述硅基底层(10)背离所述二氧化锆层的一侧还设有硬涂层(90)，所述硬涂层(90)的厚度为5um。

10.一种阵列波导光栅，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的光波导薄膜(100)。