[实用新型]全自动硅片插片机有效
| 申请号： | 201720890034.1 | 申请日： | 2017-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN207021247U | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 管南南 | 申请（专利权）人： | 阜宁协鑫光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 224400 江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种全自动硅片插片机，包括硅片传送机构，包括第一导向条和第二导向条，沿硅片前进方向依次设置有由第一级传送电机驱动的第一级传送带、由第二级传送电机驱动的第二级传送带、由第三级传送电机驱动的第三级传送带，由第四级传送电机驱动的第四级传送带，其中在第一级传送带的始端至第四级传送带的始端的范围内，第一导向条和第二导向条均连续延伸且之间的间距保持一致；上片机构，转移硅片至第一级传送带；插片花篮，用以接收第四级传送带输送的硅片；升降机构，用以带动所述插片花篮升降。硅片前进过程中均由第一导向条和第二导向条引导前进，不存在整形机构的过渡，可保证硅片输送速度，不存在卡片的风险，降低崩片不良率。 | ||
| 搜索关键词： | 全自动 硅片 插片机 | ||
【主权项】：
一种全自动硅片插片机，其特征在于，包括：硅片传送机构，包括第一导向条和第二导向条，第一导向条与第二导向条之间沿硅片前进方向依次设置有由第一级传送电机驱动的第一级传送带、由第二级传送电机驱动的第二级传送带、由第三级传送电机驱动的第三级传送带，由第四级传送电机驱动的第四级传送带，其中在第一级传送带的始端至第四级传送带的始端的范围内，所述第一导向条和第二导向条均连续延伸且第一导向条与第二导向条之间的间距保持一致；上片机构，用以转移硅片至所述第一级传送带；插片花篮，用以接收所述第四级传送带输送的硅片；升降机构，用以带动所述插片花篮升降。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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