[实用新型]全自动硅片插片机有效
申请号: | 201720890034.1 | 申请日: | 2017-07-20 |
公开(公告)号: | CN207021247U | 公开(公告)日: | 2018-02-16 |
发明(设计)人: | 管南南 | 申请(专利权)人: | 阜宁协鑫光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 224400 江苏省盐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 全自动 硅片 插片机 | ||
1.一种全自动硅片插片机,其特征在于,包括:
硅片传送机构,包括第一导向条和第二导向条,第一导向条与第二导向条之间沿硅片前进方向依次设置有由第一级传送电机驱动的第一级传送带、由第二级传送电机驱动的第二级传送带、由第三级传送电机驱动的第三级传送带,由第四级传送电机驱动的第四级传送带,其中在第一级传送带的始端至第四级传送带的始端的范围内,所述第一导向条和第二导向条均连续延伸且第一导向条与第二导向条之间的间距保持一致;
上片机构,用以转移硅片至所述第一级传送带;
插片花篮,用以接收所述第四级传送带输送的硅片;
升降机构,用以带动所述插片花篮升降。
2.根据权利要求1所述的全自动硅片插片机,其特征在于,所述第一导向条与第二导向条相对的表面上附着有聚四氟乙烯特氟龙胶带,所述胶带的长度与第一导向条的长度一致。
3.根据权利要求1所述的全自动硅片插片机,其特征在于,所述第二导向条与第一导向条相对的表面上附着有聚四氟乙烯特氟龙胶带,所述胶带的长度与第二导向条的长度一致。
4.根据权利要求1所述的全自动硅片插片机,其特征在于,所述第一导向条临近所述上片机构的一端设有引导硅片前进的弧形倒角,所述第二导向条临近所述上片机构的一端设有引导硅片前进的弧形倒角。
5.根据权利要求1所述的全自动硅片插片机,其特征在于,还包括机台,第一级传送电机、第一级传送带、第二级传送电机、第二级传送带、第三级传送电机、第三级传送带、第四级传送电机、第四级传送带均设置在所述机台上,第一级传送电机、第二级传送电机、第三级传送电机、第四级传送电机均通过紧固件固定在机台上,其中所述紧固件同时将所述第一导向条和第二导向条固定在机台上。
6.根据权利要求5所述的全自动硅片插片机,其特征在于,所述第一导向条与第二导向条中至少一个的位置可调,使所述第一导向条与第二导向条之间的间距可调。
7.根据权利要求1所述的全自动硅片插片机,其特征在于,所述第一级传送带的始端至第四级传送带的始端之间的距离小于第一导向条的长度,且第一级传送带的始端和第四级传送带的始端位于第一导向条的两端之间。
8.根据权利要求1所述的全自动硅片插片机,其特征在于,所述第一级传送带的始端至第四级传送带的始端之间的距离小于第二导向条的长度,且第二级传送带的始端和第四级传送带的始端位于第二导向条的两端之间。
9.根据权利要求1所述的全自动硅片插片机,其特征在于,所述上片机构包括若干滚轮及布置在所述滚轮上形成闭环运动的输送带。
10.根据权利要求1所述的全自动硅片插片机,其特征在于,所述第一导向条为长方体状的聚丙烯塑料件,所述第二导向条为长方体状的聚丙烯塑料件。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造