[实用新型]一种低辐射镀膜生产线用破空装置有效
| 申请号： | 201720817104.0 | 申请日： | 2017-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN206872939U | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 臧晓良;张山山;邱宏;刘云南;罗雨潇;陈贵云;刘宇;郁佳笛 | 申请（专利权）人： | 中建材光电装备（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 马明渡,徐丹 |
| 地址： | 215434 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种低辐射镀膜生产线用破空装置，其特征在于包括供连接需破空的腔体的接口（1）、手动阀（2）、第一气动或电动或电磁阀（3）、过滤器（4）、第二气动或电动或电磁阀（5）、干燥压缩空气罐（6）以及连接管道；供连接需破空的腔体的接口（1）经连接管道连接手动阀（2）的一端，手动阀（2）的另一端经分为两路，其中一路经第一气动或电动或电磁阀（3）连接至过滤器（4）经过滤器（4）连通外界大气，而另一路经第二气动或电动或电磁阀（5）连接干燥压缩空气罐（6）。本实用新型工作原理简单，全自动化，方便安全，可以通过两种方式满足充气破空要求，同时还可以满足破空频率的不同要求，为低辐射镀膜生产线生产提供了保证。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辐射 镀膜 生产线 用破空 装置 | ||
【主权项】：
一种低辐射镀膜生产线用破空装置，其特征在于：包括供连接需破空的腔体的接口（1）、手动阀（2）、第一气动或电动或电磁阀（3）、过滤器（4）、第二气动或电动或电磁阀（5）、干燥压缩空气罐（6）以及连接在上述部件间的连接管道；所述供连接需破空的腔体的接口（1）经连接管道连接手动阀（2）的一端，手动阀（2）的另一端经分为两路，其中一路经第一气动或电动或电磁阀（3）连接至过滤器（4）经过滤器（4）连通外界大气，而另一路经第二气动或电动或电磁阀（5）连接干燥压缩空气罐（6）。
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