[实用新型]一种低辐射镀膜生产线用破空装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种低辐射镀膜生产线用破空装置。

背景技术

低辐射镀膜生产线是连续型工作设备，由锁室，缓冲室，过渡室和镀膜室四部分组成。锁室的工作原理是基板进入锁室前，锁室内充入空气或干燥压缩空气达正常大气压，翻板阀开启，基板进入锁室内，翻板阀关闭，真空泵开启，将锁室抽至一定的真空度，基板继续前进。锁室需要破空和抽真空往复进行。

破空过程充入空气需要干净、无尘，否则影响基板表面质量，生产出的膜系容易脱落。

发明内容

本实用新型目的是提供一种低辐射镀膜生产线用破空装置，以满足低辐射磁控溅射镀膜玻璃生产线的破真空需要。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种低辐射镀膜生产线用破空装置，包括供连接需破空的腔体的接口、手动阀、第一气动或电动或电磁阀、过滤器、第二气动或电动或电磁阀、干燥压缩空气罐以及连接在上述部件间的连接管道；

所述供连接需破空的腔体的接口经连接管道连接手动阀的一端，手动阀的另一端经分为两路，其中一路经第一气动或电动或电磁阀连接至过滤器经过滤器连通外界大气，而另一路经第二气动或电动或电磁阀连接干燥压缩空气罐。

上述方案中，所述过滤器由外套、多孔管以及过滤海绵组成，所述外套为一筒状体，其周壁上分布有多孔；所述多孔管穿置于外套内，多孔管为管壁上开设有多孔的管道，多孔管的一端通出作为过滤器的接口；所述过滤海绵填充在外套与多孔管之间。

上述方案中，所述需破空的腔体的接口、手动阀、第一气动或电动或电磁阀、过滤器为两个，一个供连接需破空的腔体的接口经连接管道连接一个手动阀的一端构成第一接口支路，另一个供连接需破空的腔体的接口经连接管道连接另一个手动阀的一端构成第二接口支路；一个所述第一气动或电动或电磁阀经连接管道连接至一个过滤器经该过滤器连通外界大气构成第一大气接入支路；另一个所述第一气动或电动或电磁阀经连接管道连接至另一个过滤器经该过滤器连通外界大气构成第二大气接入支路；所述第一接口支路、第二接口支路、第一大气接入支路、第二大气接入支路端部汇聚连接。

进一步，所述第二气动或电动或电磁阀为一个，而所述干燥压缩空气罐为两个，两个干燥压缩空气罐相并接后经一真空波纹管连接第二气动或电动或电磁阀的一端，第二气动或电动或电磁阀的另一端与所述第一接口支路、第二接口支路、第一大气接入支路、第二大气接入支路的汇聚连接点连接。

由于上述技术方案的应用，本实用新型的工作原理以下带来的效果如下：

本实用新型工作原理简单，全自动化，方便安全，可以通过两种方式满足充气破空要求，同时还可以满足破空频率的不同要求，为低辐射镀膜生产线生产提供了保证。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构侧视示意图；

图2为本实用新型实施例的结构的立体示意图。

以上附图中：1、供连接需破空的腔体的接口；2、手动阀；3、第一气动或电动或电磁阀；4、过滤器；5、第二气动或电动或电磁阀；6、干燥压缩空气罐；7、真空波纹管；A、第一接口支路； A’、第二接口支路；B、第一大气接入支路； B’、第二大气接入支路。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例：参见图1、图2所示：

一种低辐射镀膜生产线用破空装置，其特征在于：包括供连接需破空的腔体的接口1、手动阀2、第一气动或电动或电磁阀3、过滤器4、第二气动或电动或电磁阀5、干燥压缩空气罐6以及连接在上述部件间的连接管道。

参见图1、图2所示，所述供连接需破空的腔体的接口1经连接管道连接手动阀2的一端，手动阀2的另一端经分为两路，其中一路经第一气动或电动或电磁阀3连接至过滤器4经过滤器4连通外界大气，而另一路经第二气动或电动或电磁阀5连接干燥压缩空气罐6。

具体，参见图1、图2所示，所述过滤器4由外套、多孔管以及过滤海绵组成，所述外套为一筒状体，其周壁上分布有多孔；所述多孔管穿置于外套内，多孔管为管壁上开设有多孔的管道，多孔管的一端通出作为过滤器4的接口；所述过滤海绵填充在外套与多孔管之间。