[实用新型]一种低辐射镀膜生产线用破空装置

权利要求书

1.一种低辐射镀膜生产线用破空装置，其特征在于：包括供连接需破空的腔体的接口（1）、手动阀（2）、第一气动或电动或电磁阀（3）、过滤器（4）、第二气动或电动或电磁阀（5）、干燥压缩空气罐（6）以及连接在上述部件间的连接管道；

所述供连接需破空的腔体的接口（1）经连接管道连接手动阀（2）的一端，手动阀（2）的另一端经分为两路，其中一路经第一气动或电动或电磁阀（3）连接至过滤器（4）经过滤器（4）连通外界大气，而另一路经第二气动或电动或电磁阀（5）连接干燥压缩空气罐（6）。

2.根据权利要求1所述低辐射镀膜生产线用破空装置，其特征在于：所述过滤器（4）由外套、多孔管以及过滤海绵组成，所述外套为一筒状体，其周壁上分布有多孔；所述多孔管穿置于外套内，多孔管为管壁上开设有多孔的管道，多孔管的一端通出作为过滤器（4）的接口；所述过滤海绵填充在外套与多孔管之间。

3.根据权利要求1所述低辐射镀膜生产线用破空装置，其特征在于：所述需破空的腔体的接口（1）、手动阀（2）、第一气动或电动或电磁阀（3）、过滤器（4）为两个，一个供连接需破空的腔体的接口（1）经连接管道连接一个手动阀（2）的一端构成第一接口支路（A），另一个供连接需破空的腔体的接口（1）经连接管道连接另一个手动阀（2）的一端构成第二接口支路（A’）；一个所述第一气动或电动或电磁阀（3）经连接管道连接至一个过滤器（4）经该过滤器（4）连通外界大气构成第一大气接入支路（B）；另一个所述第一气动或电动或电磁阀（3）经连接管道连接至另一个过滤器（4）经该过滤器（4）连通外界大气构成第二大气接入支路（B’）；所述第一接口支路（A）、第二接口支路（A’）、第一大气接入支路（B）、第二大气接入支路（B’）的端部汇聚连接至第二气动或电动或电磁阀（5）上。

4.根据权利要求3所述低辐射镀膜生产线用破空装置，其特征在于：所述第二气动或电动或电磁阀（5）为一个，而所述干燥压缩空气罐（6）为两个，两个干燥压缩空气罐（6）相并接后经一真空波纹管（7）连接第二气动或电动或电磁阀（5）的一端，第二气动或电动或电磁阀（5）的另一端与所述第一接口支路（A）、第二接口支路（A’）、第一大气接入支路（B）、第二大气接入支路（B’）的汇聚连接点连接。