[实用新型]一种用于样品形貌的检测装置有效
| 申请号： | 201720795522.4 | 申请日： | 2017-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN207147427U | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 张浩 | 申请（专利权）人： | 翔鹰航空工业有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 南昌赣专知识产权代理有限公司36129 | 代理人： | 文珊,刘锦霞 |
| 地址： | 334200 *** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于样品形貌的检测装置，包括激光器、反射镜、光电二极管、控制器、扫描器、以及探针；激光器位于反射镜入射光的一侧；探针位于反射镜的下方；扫描器位于探针的下方；控制器具有第一接口、第二接口，第一接口与光电二极管的负极电连接，第二接口与扫描器电连接。本实用新型公开的用于样品形貌的检测装置，扫描器在探针扫描的过程中控制排斥力恒定，获得待检测样品形貌上点的位置信息，提高了抗环境光干扰性能，降低了激光功率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 样品 形貌 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种用于样品形貌的检测装置，其特征在于：包括激光器(1)、反射镜(2)、光电二极管(3)、控制器(4)、用于扫描待检测样品(11)的扫描器(5)、以及用于检测所述待检测样品(11)的探针(6)；所述激光器(1)位于所述反射镜(2)入射光的一侧；所述探针(6)位于所述反射镜(2)的下方；所述扫描器(5)位于所述探针(6)的下方；所述控制器(4)的第一接口与所述光电二极管(3)的负极电连接，所述控制器(4)的第二接口与所述扫描器(5)电连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于翔鹰航空工业有限公司，未经翔鹰航空工业有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720795522.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种形变传感器
- 下一篇：一种点激光四轴扫描装置
