[实用新型]一种用于样品形貌的检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及检测领域，更具体的，涉及一种用于样品形貌的检测装置。

背景技术

微纳结构在超材料在航空航天、微电子、环境能源、生物技术等领域的应用愈加流行，微纳结构技术的进步使得智能化、高集成、高密度和信息超快传输成为了可能。

微纳器件的形貌将直接影响产品的性能特征，精密的形貌检测将是微纳结构发展道路上必不可少的重要手段。目前，针对微纳结构的检测技术可以分为接触和非接触两类，而运用光学手段具有量程大、非接触、灵敏度高、无损伤、精密度高的特点。但由于在微纳结构的形貌检测技术中，测量稳定性不足，受外界干扰严重，那么，寻找一种简单、精密度高、稳定性强的检测手段，对于现在的微纳结构器件起着关键的作用。要实现原理简单、成本较低的形貌检测技术仍然是目前需要继续解决的难题。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺陷，本实用新型所要解决的技术问题在于提出一种用于样品形貌的检测装置，扫描器在探针扫描的过程中控制排斥力恒定，获得待检测样品形貌上点的位置信息，提高了抗环境光干扰性能，降低了激光功率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供了一种用于样品形貌的检测装置，包括激光器、反射镜、光电二极管、控制器、用于扫描待检测样品的扫描器、以及用于检测所述待检测样品的探针；

所述激光器位于所述反射镜入射光的一侧；所述探针位于所述反射镜的下方；所述扫描器位于所述探针的下方；所述控制器的第一接口与所述光电二极管的负极电连接，所述控制器的第二接口与所述扫描器电连接。

可选地，还包括光电探测器；

所述光电探测器位于所述反射镜的出射光所在侧。

可选地，还包括准直器；

所述准直器的第一端位于所述光电探测器的输出端所在侧，所述准直器的第二端与所述光电二极管的正极电连接；

可选地，还包括显示器；

所述显示器与所述控制器的第三接口电连接。

可选地，所述扫描器配置为压电晶体扫描器。

可选地，所述光电探测器配置为CMOS感光器。

可选地，所述反射镜是激光谱线反射镜。

可选地，所述激光谱线反射镜的波长是1064nm。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供的一种用于样品形貌的检测装置，扫描器在探针扫描的过程中控制排斥力恒定，获得待检测样品形貌上点的位置信息，提高了抗环境光干扰性能，降低了激光功率。此外，由于处理信息简化为对点位置的判断，可以简化信息处理程序，实时性强、可靠性高。同时还可以看出，本实用新型提供的一种用于试样拉伸试验的装置，具有结构与原理简单，成本低的特点。

附图说明

图1是本实用新型具体实施方式提供的一种用于样品形貌的检测装置的结构示意图。

图中：

1、激光器；2、反射镜；3、光电二极管；4、控制器；5、扫描器；6、探针；7、光电探测器；8、准直器；9、显示器；11、待检测样品。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

图1示例性地示出了本实用新型提供的一种用于样品形貌的检测装置的结构示意图，如图1所示。该装置包括激光器1、反射镜2、光电二极管3、控制器4、用于扫描待检测样品11的扫描器5、以及用于检测待检测样品11的探针6；激光器1位于反射镜2入射光的一侧；探针6位于反射镜2的下方；扫描器5位于探针6的下方；控制器4具有第一接口、第二接口，第一接口与光电二极管3的负极电连接，第二接口与扫描器5电连接。可选地，该装置还包括光电探测器7；光电探测器7位于反射镜2的出射光所在侧。可选地，该装置还包括准直器8；准直器8的第一端位于光电探测器7的输出端所在侧，准直器8的第二端与光电二极管3的正极电连接；可选地，该装置还包括显示器9，控制器4还具有第三接口；显示器9与第三接口电连接。