[实用新型]一种用于样品形貌的检测装置有效
| 申请号： | 201720795522.4 | 申请日： | 2017-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN207147427U | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 张浩 | 申请（专利权）人： | 翔鹰航空工业有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 南昌赣专知识产权代理有限公司36129 | 代理人： | 文珊,刘锦霞 |
| 地址： | 334200 *** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 样品 形貌 检测 装置 | ||
1.一种用于样品形貌的检测装置，其特征在于：包括激光器(1)、反射镜(2)、光电二极管(3)、控制器(4)、用于扫描待检测样品(11)的扫描器(5)、以及用于检测所述待检测样品(11)的探针(6)；
所述激光器(1)位于所述反射镜(2)入射光的一侧；所述探针(6)位于所述反射镜(2)的下方；所述扫描器(5)位于所述探针(6)的下方；所述控制器(4)的第一接口与所述光电二极管(3)的负极电连接，所述控制器(4)的第二接口与所述扫描器(5)电连接。
2.如权利要求1所述的一种用于样品形貌的检测装置，其特征在于：
还包括光电探测器(7)；
所述光电探测器(7)位于所述反射镜(2)的出射光所在侧。
3.如权利要求2所述的一种用于样品形貌的检测装置，其特征在于：
还包括准直器(8)；
所述准直器(8)的第一端位于所述光电探测器(7)的输出端所在侧，所述准直器(8)的第二端与所述光电二极管(3)的正极电连接。
4.如权利要求1所述的一种用于样品形貌的检测装置，其特征在于：
还包括显示器(9)；
所述显示器(9)与所述控制器(4)的第三接口电连接。
5.如权利要求1所述的一种用于样品形貌的检测装置，其特征在于：
所述扫描器(5)配置为压电晶体扫描器。
6.如权利要求2所述的一种用于样品形貌的检测装置，其特征在于：
所述光电探测器(7)配置为CMOS感光器。
7.如权利要求1所述的一种用于样品形貌的检测装置，其特征在于：
所述反射镜(2)配置为激光谱线反射镜。
8.如权利要求7所述的一种用于样品形貌的检测装置，其特征在于：
所述激光谱线反射镜的波长是1064nm。
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