[实用新型]一种二氧化硅膜的热氧化装置

摘要

本实用新型公开了一种二氧化硅膜的热氧化装置，包括顶盖和底座，所述底座上设置有圆柱形的加热体，且所述加热体分为上下两部分，且加热体下半部固定在底座上，所述加热体内圈壁中均匀设置有内嵌电阻丝，所述加热体内部套装有圆柱形的蓄热传导体，所述蓄热传导体内部中间对称设置有两块热电偶，所述蓄热传导体内部套装有石英管，所述石英管两端延伸出底座两侧，所述石英管两端均安装有密封法兰盘，左端所述法兰盘的右侧设置有滤腔，所述滤腔的顶部设置有通水管，所述滤腔右侧边界设置有半透膜层，所述法兰盘中间设置有象鼻管，所述石英管在蓄热传导体的两侧边界处设置有内突圈，所述内突圈弧度为石英管周长的一半。

主权项

1.一种二氧化硅膜的热氧化装置，其特征在于：包括顶盖(1)和底座(7)，所述底座(7)上设置有圆柱形的加热体(4)，且所述加热体(4)分为上下两部分，且加热体(4)下半部固定在底座(7)上，所述加热体(4)内圈壁中均匀设置有内嵌电阻丝(13)，所述加热体(4)内部套装有圆柱形的蓄热传导体(5)，所述蓄热传导体(5)内部中间对称设置有两块热电偶(12)，所述蓄热传导体(5)内部套装有石英管(9)，所述石英管(9)两端延伸出底座(7)两侧，所述石英管(9)两端均安装有密封法兰盘(10)，所述法兰盘(10)中间设置有象鼻管(11)，左端所述法兰盘(10)的右侧设置有滤腔(16)，所述滤腔(16)的顶部设置有通水管(15)，所述滤腔(16)右侧边界设置有半透膜层(17)，所述石英管(9)在蓄热传导体(5)的两侧边界处设置有内突圈(8)，所述内突圈(8)弧度为石英管(9)周长的一半。